| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·微腔的简介和应用 | 第7-9页 |
| ·本文的主要工作 | 第9-10页 |
| 2 硅基微盘的理论和模拟 | 第10-25页 |
| ·微腔的理论分析 | 第10-14页 |
| ·硅基微盘的理论模拟和结果 | 第14-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 硅基微环的光纤耦合测试 | 第25-40页 |
| ·光纤耦合测试原理 | 第25-31页 |
| ·硅基微环的性能测试 | 第31-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 硅基键合相关工艺研究 | 第40-52页 |
| ·键合的基本理论 | 第40-43页 |
| ·BCB 键合的工艺流程和测试结果 | 第43-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 总结 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第58-59页 |
| 附录 2 自动化测试的程序框图 | 第59页 |