太阳能电池氮化硅薄膜制备与钝化研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-11页
第一章 引言	第11-24页
·能源危机与太阳能	第11-12页
·晶体硅太阳能电池简介	第12-19页
·晶体硅太阳能电池电性能分析	第13-17页
·晶体硅太阳能电池制造技术	第17-19页
·晶体硅太阳能电池镀膜与钝化技术	第19-22页
·晶体硅太阳能电池镀膜与钝化的作用	第19-21页
·晶体硅太阳能电池镀膜与钝化技术国内外研究现状	第21-22页
·本课题研究的目标和内容	第22-24页
第二章 氮化硅镀膜工艺参数研究	第24-32页
·PECVD 镀膜原理	第24-25页
·温度特性研究	第25-26页
·压力特性研究	第26-27页
·功率特性研究	第27-29页
·硅烷-氨气流量比特性研究	第29-32页
第三章 氨气氢钝化工艺研究	第32-41页
·氢钝化和氨气钝化原理	第32页
·氨气氢钝化实验	第32-36页
·氮化硅沉积前钝化	第33-34页
·氮化硅沉积后钝化	第34-35页
·镀膜前、镀膜后氨气钝化对比分析	第35-36页
·氨气氢钝化优化研究	第36-41页
第四章 叠层镀膜工艺研究	第41-66页
·多层膜减反理论分析	第41-42页
·双层氮化硅膜研究	第42-50页
·双层膜理论分析与仿真	第42-44页
·双层膜实验	第44-47页
·数据分析	第47-50页
·三层膜研究	第50-58页
·氮氧化硅薄膜的制备	第51-52页
·三层膜理论分析与仿真	第52-54页
·三层膜实验	第54-56页
·数据分析	第56-58页
·其它工艺与多层膜技术的整合	第58-66页
·氨气氢钝化与多层膜技术	第59-61页
·PN 结扩散与多层膜技术	第61-66页
第五章 总结与展望	第66-68页
致谢	第68-69页
参考文献	第69-72页
攻硕期间取得的研究成果	第72-73页