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LB技术制备PZT及PLZT薄膜及电性能研究

摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第1章 绪论第9-18页
   ·课题背景第9-10页
   ·锆钛酸铅系材料概述第10-12页
     ·锆钛酸铅系材料的结构第10-11页
     ·锆钛酸铅系材料的特性与应用第11-12页
   ·锆钛酸铅系材料的研究现状第12-15页
     ·锆钛酸铅系陶瓷材料第12-13页
     ·锆钛酸铅系薄膜第13-14页
     ·锆钛酸铅系材料的掺杂改性第14页
     ·锆钛酸铅系薄膜的制备方法第14-15页
   ·LB 技术组装纳米粒子的方法第15-16页
     ·复合金属离子法第15页
     ·稀溶胶亚相转移法第15-16页
     ·纳米粒子包裹法第16页
   ·课题主要研究内容第16-18页
第2章 实验材料与方法第18-25页
   ·实验药品与仪器第18-19页
     ·实验所需药品第18-19页
     ·实验所需仪器及设备第19页
   ·溶胶及粉体的制备第19-21页
     ·PZT 溶胶的制备第19-20页
     ·PLZT 溶胶的制备第20-21页
     ·干凝胶及粉体的制备第21页
   ·薄膜的制备第21-22页
     ·基底的选择及清洗第21页
     ·PZT 及PLZT 超微粒/硬脂酸复合LB 膜的制备第21-22页
     ·PZT 及PLZT 超薄膜的制备第22页
   ·电容试样的制备第22-23页
   ·表征和测试方法第23-25页
     ·热重/差热分析第23页
     ·X 射线衍射分析第23-24页
     ·紫外-可见光谱分析第24页
     ·薄膜的表面形貌分析第24页
     ·PZT 薄膜的电性能测试第24-25页
第3章 PZT 及PLZT 溶胶的制备和粉体的表征第25-33页
   ·前言第25页
   ·PZT 及PLZT 溶胶的影响因素第25-27页
     ·成胶性影响因素第25-26页
     ·成胶性影响因素第26-27页
   ·PZT 及PLZT 干凝胶粉的热行为分析第27-28页
     ·PZT 干凝胶粉的热行为分析第27-28页
     ·PLZT 干凝胶粉的热行为分析第28页
   ·PZT 及PLZT 粉体的物相分析第28-30页
     ·PZT 粉体的物相分析第28-29页
     ·La~(3+)掺杂PLZT 粉体的物相分析第29-30页
   ·PZT 及PLZT 结晶粉的形貌分析第30-31页
   ·本章小节第31-33页
第4章 PZT 及PLZT 薄膜的制备及表征第33-52页
   ·前言第33页
   ·硬脂酸/PZT 复合LB 膜的制备工艺第33-38页
     ·硬脂酸/PZT 成膜工艺参数的确定第33-36页
     ·硬脂酸/PZT 拉膜过程工艺参数的确定第36-38页
   ·硬脂酸/PLZT 复合LB 膜的制备工艺第38-42页
     ·硬脂酸/PLZT 成膜工艺参数的确定第38-40页
     ·硬脂酸/PLZT 拉膜过程工艺参数的确定第40-42页
   ·复合LB 膜的紫外-可见光谱分析第42-45页
     ·硬脂酸/PZT 复合LB 膜的紫外-可见光谱分析第42-44页
     ·硬脂酸/PLZT 复合LB 膜的紫外-可见光谱分析第44-45页
   ·薄膜的结晶性能研究第45-49页
     ·退火工艺对薄膜结晶性能的影响第46-48页
     ·掺入成分对薄膜结晶性能的影响第48-49页
   ·薄膜的形貌分析第49-51页
   ·本章小结第51-52页
第5章 PZT 及PLZT 薄膜的电性能研究第52-59页
   ·前言第52页
   ·薄膜的介电性能第52-55页
     ·不同烧结温度PZT 薄膜的介电性能第53-54页
     ·不同La 掺杂浓度PLZT 薄膜的介电性能第54-55页
   ·薄膜的压电性能第55-58页
     ·薄膜的极化第56页
     ·不同烧结温度PZT 薄膜的压电性能第56-57页
     ·不同La 掺杂浓度PLZT 薄膜的压电性能第57-58页
   ·本章小结第58-59页
结论第59-61页
参考文献第61-65页
攻读学位期间发表的学术论文第65-67页
致谢第67页

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