| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| ·研究目的与意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究进展 | 第10-15页 |
| ·非晶磁弹性材料的应力阻抗效应理论研究 | 第10-11页 |
| ·磁弹性材料的特性研究 | 第11-14页 |
| ·磁弹性薄膜在应力阻抗传感器方面的应用 | 第14-15页 |
| ·论文选题及研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 FeCoSiB多层膜应力阻抗效应模拟 | 第17-30页 |
| ·多层膜巨磁阻抗效应模型 | 第17-18页 |
| ·FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层膜应力阻抗效应模型的建立 | 第18-25页 |
| ·等效场的确定 | 第19-20页 |
| ·高频等效磁导率的求解 | 第20-25页 |
| ·应力阻抗效应的计算 | 第25-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 第三章 柔性FeCoSiB非晶薄膜的制备 | 第30-38页 |
| ·磁控溅射方法 | 第30-32页 |
| ·实验方法 | 第32-38页 |
| ·样品的制备 | 第32-33页 |
| ·样品的表征 | 第33-36页 |
| ·FeCoSiB薄膜横向磁场处理 | 第36页 |
| ·FeCoSiB薄膜的图形化的设计 | 第36-38页 |
| 第四章 柔性FeCoSiB非晶磁弹性薄膜单层膜的应力阻抗效应 | 第38-46页 |
| ·溅射气压对FcCoSiB薄膜成分的影响 | 第38-39页 |
| ·FcCoSiB薄膜的相结构 | 第39-40页 |
| ·溅射气压对应力阻抗效应的影响 | 第40-41页 |
| ·不同偏置磁场对磁性能及应力阻抗效应的影响 | 第41-42页 |
| ·膜厚对应力阻抗效应的影响 | 第42-43页 |
| ·测试频率对应力阻抗效应的影响 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第五章 FeCoSiB/Cu/FeCoSiB多层膜的应力阻抗效应 | 第46-51页 |
| ·三层膜的制备 | 第46页 |
| ·研究结果与讨论 | 第46-50页 |
| ·测试频率对应力阻抗效应的影响 | 第46-48页 |
| ·磁性层与导电层厚度对应力阻抗效应的影响 | 第48-49页 |
| ·偏置磁场对应力阻抗效应的影响 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第六章 结论 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 硕士期间所取得的研究成果 | 第58页 |
