梯度BST薄膜的MOD制备及表征

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-19页
·铁电材料的概述及其研究进展	第8-13页
·铁电材料概述	第8-9页
·铁电材料研究进展	第9-10页
·铁电薄膜的研究进展	第10-13页
·BST薄膜的研究概况	第13-15页
·梯度BST薄膜研究进展	第15-17页
·论文选题及研究方案	第17-19页
第二章 BST薄膜的制备与表征	第19-26页
·MOD法制备BST薄膜	第19-21页
·BST薄膜微结构表征	第21-25页
·XRD	第21-22页
·AFM	第22-24页
·SEM	第24-25页
·BST薄膜电学性质测试	第25-26页
第三章 单组分BST薄膜制备工艺的研究	第26-34页
·实验过程	第26-29页
·溶剂对薄膜晶化的影响	第29-30页
·退火时间对薄膜晶化的影响	第30-31页
·退火温度对薄膜晶化的影响	第31-32页
·薄膜的电容-电压特性	第32-33页
·本章小结	第33-34页
第四章 梯度BST薄膜的研究	第34-56页
·实验过程	第34-36页
·实验结果与分析	第36-55页
·梯度膜制备工艺的研究	第36-50页
·薄膜退火气氛的研究	第50-55页
·本章小结	第55-56页
第五章 结论	第56-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-63页
攻硕期间取得的研究成果	第63页