微谐振式压力传感器技术研究

摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-8页
第一章 绪论	第8-19页
·压力传感器技术的发展	第8-13页
·压力传感器概述	第8-9页
·压阻式压力传感器	第9页
·电容式压力传感器	第9-10页
·压电式压力传感器	第10-11页
·谐振式压力传感器	第11-13页
·微谐振式压力传感器的研究现状	第13-17页
·静电激励方式	第13-15页
·热激励方式	第15-16页
·电磁激励	第16-17页
·课题研究的意义和价值	第17-19页
第二章 微谐振梁压力传感器理论分析	第19-30页
·微谐振梁结构设计	第19-21页
·简化模型数值分析	第21-29页
·梁机械振动及固有频率计算	第21-23页
·热激励受迫振动	第23-25页
·硅压力膜的受力弯曲	第25-27页
·压力传感器的灵敏度分析	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第三章 有限元仿真分析	第30-38页
·单晶硅谐振梁特性分析	第30-32页
·压力灵敏度分析	第32-35页
·新型硅岛结构压力传感器	第35-37页
·本章小结	第37-38页
第四章 微谐振式压力传感器的制作	第38-54页
·MEMS 工艺技术	第38-48页
·薄膜成形技术	第38-42页
·光刻技术	第42-43页
·体微加工技术	第43-46页
·牺牲层技术	第46-47页
·键合技术	第47-48页
·器件加工	第48-51页
·封装	第51-53页
·本章小结	第53-54页
第五章 微谐振式压力传感器测试系统	第54-60页
·开环检测	第54-57页
·闭环检测	第57-59页
·本章小结	第59-60页
第六章 总结和展望	第60-62页
·主要研究工作与结论	第60-61页
·论文主要研究内容	第60-61页
·本论文工作创新	第61页
·研究展望	第61-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-66页
附录 作者在攻读硕士学位期间发表的论文	第66页