| 提要 | 第1-6页 |
| 第一章 引言 | 第6-21页 |
| ·ZNO 材料的基本特征 | 第6-8页 |
| ·ZNO 材料的研究进展 | 第8-19页 |
| ·本论文的选题依据和要解决的问题 | 第19-21页 |
| 第二章 ZNO 薄膜的制备技术和表征手段 | 第21-30页 |
| ·ZNO 薄膜的生长设备 | 第21-23页 |
| ·ZNO 薄膜的表征手段 | 第23-30页 |
| 第三章 磷掺杂P 型ZNO 薄膜的制备和表征 | 第30-51页 |
| ·磷掺杂P 型ZNO 薄膜的制备 | 第31-32页 |
| ·磷掺杂P 型ZNO 薄膜的表征 | 第32-38页 |
| ·磷掺杂ZNO 薄膜的电学性质的分析 | 第38-40页 |
| ·磷掺杂ZNO 薄膜的光学性质的分析 | 第40-47页 |
| ·磷掺杂P 型ZNO 的形成机制的探讨 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 溅射气体流量比对磷掺杂ZNO 电学性质的影响 | 第51-60页 |
| ·样品的制备 | 第51页 |
| ·流量比对磷掺杂ZNO 结构的影响 | 第51-53页 |
| ·流量比对磷掺杂ZNO 电学性质的影响 | 第53-55页 |
| ·流量比对磷掺杂ZNO 光学性质的影响 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 退火温度对磷掺杂P 型ZNO 结构及光电性质的影响 | 第60-71页 |
| ·样品的制备 | 第60-61页 |
| ·退火温度对磷掺杂ZNO 薄膜结构和形貌的影响 | 第61-64页 |
| ·退火温度对磷掺杂ZNO 电学性质的影响 | 第64-67页 |
| ·退火温度对磷掺杂ZNO 光学性质的影响 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-80页 |
| 摘要 | 第80-84页 |
| ABSTRACT | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 导师简介 | 第89页 |
| 作者简介 | 第89页 |