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硅基以ZnO为缓冲层制备GaN薄膜和一维纳米结构的研究

摘要第1-8页
Abstract第8-11页
第一章 绪论第11-26页
 第一节 GaN 材料的基本性质和研究进展第12-18页
 第二节 ZnO 材料的基本性质和研究进展第18-21页
 第三节 GaN 纳米结构的生长方法第21-24页
 第四节 本论文的选题依据第24-26页
第二章 实验设备和测试表征方法第26-33页
 第一节 实验设备介绍第26-29页
 第二节 样品的测试和表征技术第29-33页
第三章 ZnO 的制备及特性研究第33-49页
 第一节 氧气氛围下退火温度对氧化锌薄膜特性的影响第33-39页
 第二节 氨气氛围中退火温度对ZnO 薄膜的结构和形态特性影响第39-44页
 第三节 空气气氛下退火温度对ZnO 薄膜的结构和形态特性影响第44-49页
第四章 脉冲激光沉积法生长ZnO 缓冲层制备GaN 纳米线第49-61页
 第一节 一维GaN 纳米结构的制备第49-50页
 第二节 氨化温度对合成一维GaN 纳米结构的影响第50-54页
 第三节 GaN 纳米线的表征及其特性分析第54-61页
第五章 磁控溅射Ga_2O_3/ZnO 膜反应自组装一维GaN 纳米结构的研究第61-77页
 第一节 ZnO 缓冲层的退火温度对合成一维GaN 纳米结构的影响第61-67页
 第二节 氨化温度对合成一维GaN 纳米结构的影响第67-74页
 第三节 一维GaN 纳米结构的生长机制的探索第74-77页
第六章 磁控溅射法制备GaN 薄膜的研究第77-84页
 第一节 GaN/ZnO 薄膜的制备第77-78页
 第二节 ZnO 缓冲层的厚度对生长GaN 薄膜的影响第78-84页
第七章 结论第84-87页
   ·本文的主要结果第84-86页
   ·对今后工作的建议第86-87页
参考文献第87-96页
攻读硕士学位期间发表的论文目录第96-100页
致谢第100-101页

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