| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| ·背景 | 第7-8页 |
| ·丙酮气体传感器的必要性 | 第7页 |
| ·丙酮气体传感器的应用 | 第7-8页 |
| ·丙酮气体检测的方法 | 第8页 |
| ·氧化物半导体丙酮气敏材料的研究现状 | 第8-15页 |
| ·材料的选择 | 第8-10页 |
| ·材料的形态及制备工艺 | 第10-11页 |
| ·影响因素 | 第11-13页 |
| ·敏感机理 | 第13-15页 |
| ·氧化物半导体薄膜型气敏传感器 | 第15-18页 |
| ·氧化物半导体薄膜型气敏传感器的结构 | 第15-16页 |
| ·氧化物半导体薄膜型气敏传感器的主要参数与特性 | 第16-17页 |
| ·氧化物半导体薄膜的主要制备方法 | 第17-18页 |
| ·课题的提出 | 第18-20页 |
| 第二章 实验过程 | 第20-24页 |
| ·实验原料 | 第20页 |
| ·络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的制备工艺 | 第20-21页 |
| ·LaFeO_3薄膜气敏性能的表征和测试 | 第21-23页 |
| ·LaFeO_3薄膜气敏性能的特征参数 | 第21-22页 |
| ·LaFeO_3薄膜的性能测试 | 第22-23页 |
| ·分析方法 | 第23-24页 |
| 第三章 络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的过程分析 | 第24-35页 |
| ·络合-聚合法原理 | 第24-26页 |
| ·络合-聚合法前驱体的分析 | 第26-27页 |
| ·络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的表征 | 第27-32页 |
| ·络合-聚合法合成钙钛矿型LaFeO_3相 | 第28页 |
| ·络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的表面形貌 | 第28-32页 |
| ·络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的过程及其动力学研究 | 第32-35页 |
| ·络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的具体过程 | 第32-34页 |
| ·络合-聚合法制备LaFeO_3薄膜的预处理过程 | 第34-35页 |
| 第四章 LaFeO_3薄膜的丙酮气体敏感性能 | 第35-50页 |
| ·LaFeO_3结构及其气敏机理 | 第35-37页 |
| ·LaFeO_3薄膜的丙酮气体敏感性能 | 第37-44页 |
| ·LaFeO_3薄膜的阻温特性 | 第37-39页 |
| ·LaFeO_3薄膜对丙酮气体的响应性能 | 第39-40页 |
| ·LaFeO_3薄膜对丙酮气体敏感性能的影响因素 | 第40-44页 |
| ·掺杂LaFeO_3薄膜的丙酮气体敏感性能 | 第44-50页 |
| ·掺杂方案的设计 | 第44页 |
| ·Cu~(2+)掺杂LaFeO_3薄膜对丙酮气体敏感性能 | 第44-48页 |
| ·LaFe_(0.95)Mo_(0.05)O_3薄膜对丙酮气体的响应特性 | 第48-50页 |
| 第五章 结论 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 发表论文和参加科研情况 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
