| 论文提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-28页 |
| ·NbN 薄膜材料介绍 | 第7-16页 |
| ·NbN 的相结构 | 第7-11页 |
| ·NbN 薄膜的研究现状 | 第11-14页 |
| ·NbN 薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| ·硬质纳米多层膜介绍 | 第16-26页 |
| ·硬质纳米多层膜的研究进展 | 第16-22页 |
| ·硬质纳米多层膜的致硬机理和设计思想 | 第22-26页 |
| ·论文的选题依据及主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 磁控溅射制备NbN薄膜和NbN/SiN_x纳米多层膜及表征 | 第28-44页 |
| ·磁控溅射的工作原理 | 第28-29页 |
| ·磁控溅射沉积NbN薄膜和NbN/SiN_x纳米多层膜的实验条件 | 第29-32页 |
| ·NbN薄膜和NbN/SiN_x纳米多层膜的表征 | 第32-37页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第32-33页 |
| ·掠入射X射线反射(GIXRR) | 第33-34页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第34-35页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第35页 |
| ·纳米压痕(Nanoindentation) | 第35-37页 |
| ·多层膜调制周期和沉积率的测定 | 第37-44页 |
| 第三章 沉积条件对NbN薄膜微观结构和力学性能的影响及其薄膜的热稳定性 | 第44-77页 |
| ·N_2/Ar流量比对NbN薄膜微观结构和力学性能的影响 | 第44-49页 |
| ·溅射压强对NbN 薄膜微观结构和力学性能的影响 | 第49-53页 |
| ·衬底偏压对NbN薄膜微观结构和力学性能的影响 | 第53-61页 |
| ·过渡层对NbN薄膜微观结构和力学性能的影响 | 第61-63页 |
| ·薄膜厚度对NbN薄膜微观结构的影响 | 第63-67页 |
| ·NbN薄膜的热稳定性 | 第67-74页 |
| ·本章小结 | 第74-77页 |
| 第四章 NbN/SiN_x纳米多层膜的微观结构、力学性能及热稳定性研究 | 第77-101页 |
| ·N_2/Ar流量比对NbN/SiN_x纳米多层膜微观结构和力学性能的影响 | 第77-83页 |
| ·fcc-NbN/SiN_x纳米多层膜的微观结构和力学性能 | 第83-88页 |
| ·hcp-NbN/SiN_x 纳米多层膜的微观结构和力学性能 | 第88-92页 |
| ·NbN/SiN_x 纳米多层膜的热稳定性 | 第92-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第五章 结论 | 第101-104页 |
| 参考文献 | 第104-116页 |
| 中文摘要 | 第116-119页 |
| ABSTRACT | 第119-123页 |
| 致谢 | 第123页 |
