提要 | 第1-7页 |
第一章 绪论 | 第7-26页 |
·纳米磁性薄膜 | 第8-9页 |
·Fe-N材料的发展历史 | 第9页 |
·Fe-N薄膜的应用 | 第9-10页 |
·铁氮化合物的结构及性能简介 | 第10-21页 |
·Fe-N材料研究的现状 | 第21-24页 |
·本论文研究的目的、意义及主要内容 | 第24-26页 |
第二章 薄膜的制备方法与表征手段 | 第26-41页 |
·溅射的工作原理 | 第26-30页 |
·溅射镀膜的特点 | 第30页 |
·与本文有关的溅射装置 | 第30-36页 |
·本文采用的实验仪器简介 | 第36-41页 |
第三章 衬底温度对Fe-N薄膜的结构、形貌、磁性的影响及其热稳定性 | 第41-62页 |
·衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性性能的影响 | 第41-49页 |
·热处理对Fe-N薄膜结构和磁性的影响 | 第49-50页 |
·热处理对室温沉积Fe-N薄膜结构和磁性的影响 | 第50-55页 |
·热处理对250C沉积Fe-N薄膜结构和磁性的影响 | 第55-60页 |
本章小结 | 第60-62页 |
第四章 Cu掺杂对Fe-N薄膜结构和磁性的影响 | 第62-73页 |
·薄膜样品的制备 | 第62页 |
·室温下Cu掺杂对Fe-N薄膜结构和磁性的影响 | 第62-68页 |
·热处理对Cu掺杂Fe-N薄膜结构的影响 | 第68-72页 |
本章小结 | 第72-73页 |
第五章 总 结 | 第73-75页 |
参考文献 | 第75-83页 |
攻读硕士学位期间发表的论文 | 第83-84页 |
摘要 | 第84-87页 |
Abstract | 第87-90页 |
致谢 | 第90页 |