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Fe-N薄膜的合成与优化

提要第1-7页
第一章 绪论第7-26页
   ·纳米磁性薄膜第8-9页
   ·Fe-N材料的发展历史第9页
   ·Fe-N薄膜的应用第9-10页
   ·铁氮化合物的结构及性能简介第10-21页
   ·Fe-N材料研究的现状第21-24页
   ·本论文研究的目的、意义及主要内容第24-26页
第二章 薄膜的制备方法与表征手段第26-41页
   ·溅射的工作原理第26-30页
   ·溅射镀膜的特点第30页
   ·与本文有关的溅射装置第30-36页
   ·本文采用的实验仪器简介第36-41页
第三章 衬底温度对Fe-N薄膜的结构、形貌、磁性的影响及其热稳定性第41-62页
   ·衬底温度对Fe-N薄膜结构、形貌及磁性性能的影响第41-49页
   ·热处理对Fe-N薄膜结构和磁性的影响第49-50页
   ·热处理对室温沉积Fe-N薄膜结构和磁性的影响第50-55页
   ·热处理对250C沉积Fe-N薄膜结构和磁性的影响第55-60页
 本章小结第60-62页
第四章 Cu掺杂对Fe-N薄膜结构和磁性的影响第62-73页
   ·薄膜样品的制备第62页
   ·室温下Cu掺杂对Fe-N薄膜结构和磁性的影响第62-68页
   ·热处理对Cu掺杂Fe-N薄膜结构的影响第68-72页
 本章小结第72-73页
第五章 总 结第73-75页
参考文献第75-83页
攻读硕士学位期间发表的论文第83-84页
摘要第84-87页
Abstract第87-90页
致谢第90页

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