| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| ACKNOWLEDGEMENTS | 第6-13页 |
| CHAPTER 1 INTRODUCTION | 第13-21页 |
| ·Wire bonding | 第13-15页 |
| ·Kinematic calibration of the X-Y table | 第15-16页 |
| ·Camera calibration techniques | 第16-18页 |
| ·Research Significance | 第18-19页 |
| ·Research Content | 第19-21页 |
| CHAPTER 2 KINEMATIC DESCRIPTION | 第21-26页 |
| ·The prototype of the wire bonder and the X-Y table | 第21-22页 |
| ·Errors origins of the X-Y table | 第22-24页 |
| ·Summary | 第24-26页 |
| CHAPTER 3 VISION-BASED MEASUREMENT | 第26-40页 |
| ·Camera model | 第27-31页 |
| ·Camera calibration experiment | 第31-34页 |
| ·Accuracy assessment | 第34-38页 |
| ·One type of measures for camera calibration accuracy | 第34-35页 |
| ·Camera measuring accuracy experiment | 第35-38页 |
| ·Summary | 第38-40页 |
| CHAPTER 4 PARAMETER IDENTIFICATION | 第40-50页 |
| ·Introduction | 第40-43页 |
| ·Description of the component errors | 第40-42页 |
| ·Mapping of geometric errors | 第42页 |
| ·Identification of geometric errors | 第42-43页 |
| ·Positioning errors identification experiment | 第43-49页 |
| ·Summary | 第49-50页 |
| CHAPTER 5 COMPENSATION | 第50-62页 |
| ·The principle of error compensation | 第50-52页 |
| ·Error compensation experiment | 第52-60页 |
| ·X and Y axes errors compensation experiments | 第52-58页 |
| ·X-Y plane experiment after errors compensation | 第58-60页 |
| ·Summary | 第60-62页 |
| CHAPTER 6 CONCLUSION | 第62-64页 |
| ·Conclusion | 第62页 |
| ·Future work | 第62-64页 |
| REFERENCES | 第64-67页 |
