| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 ZnO纳米薄膜材料综述 | 第7-18页 |
| §1.1 引言 | 第7页 |
| §1.2 ZnO材料的结构和基本性质 | 第7-9页 |
| §1.3 ZnO纳米薄膜的生长方法工艺和测试方法 | 第9-13页 |
| §1.4 ZnO纳米材料的应用和研究现状 | 第13-17页 |
| §1.5 本文主要内容及意义 | 第17-18页 |
| 第二章 金属-半导体接触 | 第18-24页 |
| §2.1 引言 | 第18页 |
| §2.2 金属-半导体接触原理 | 第18-21页 |
| §2.3 金属-半导体的欧姆接触和肖特基接触 | 第21-24页 |
| 第三章 ZnO纳米薄膜器件欧姆电极的制备 | 第24-30页 |
| §3.1 引言 | 第24页 |
| §3.2 利用高掺杂接触制备ZnO薄膜的欧姆电极 | 第24-27页 |
| §3.3 退火处理对ZnO薄膜欧姆电极性能的影响 | 第27-29页 |
| §3.4 小结 | 第29-30页 |
| 第四章 ZnO纳米薄膜器件肖特基电极的制备 | 第30-41页 |
| §4.1 引言 | 第30页 |
| §4.2 Ag/ZnO肖特基接触的电学特性分析 | 第30-35页 |
| §4.3 Ag生长温度对Si基ZnO薄膜肖特基接触特性影响 | 第35-40页 |
| §4.4 小结 | 第40-41页 |
| 全文总结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-48页 |
| 发表论文 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49页 |