| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·ZnO 材料的结构及基本性质 | 第10-11页 |
| ·结构 | 第10页 |
| ·电学性质 | 第10-11页 |
| ·光学性质 | 第11页 |
| ·ZnO 薄膜的应用 | 第11-13页 |
| ·ZnO 薄膜的发光机制 | 第13-14页 |
| ·ZnO 薄膜发光特性研究现状 | 第14-17页 |
| ·磁性离子掺杂ZnO 薄膜的研究 | 第17-18页 |
| ·本文的选题依据和主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·选题依据 | 第18页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 样品的制备及表征手段 | 第19-29页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·实验设备及原理 | 第19-21页 |
| ·实验设备 | 第19页 |
| ·实验原理 | 第19-21页 |
| ·样品的制备工艺 | 第21-23页 |
| ·Cr 掺杂ZnO 薄膜的制备 | 第21页 |
| ·工艺过程 | 第21-23页 |
| ·衬底的选择与处理 | 第23页 |
| ·高温退火处理 | 第23-24页 |
| ·样品的表征 | 第24-28页 |
| ·X-射线衍射(XRD) | 第24-25页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第25-26页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)和X 射线能谱分析仪(EDS) | 第26-27页 |
| ·光致发光谱(PL) | 第27页 |
| ·紫外透射率(UV-Vis) | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜的特性分析 | 第29-45页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·Cr 含量对Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜性质的影响 | 第29-37页 |
| ·实验参数 | 第29-30页 |
| ·EDS 检测 | 第30页 |
| ·Cr 含量对薄膜结构性质的影响 | 第30-32页 |
| ·Cr 含量对薄膜表面形貌的影响 | 第32-34页 |
| ·Cr 含量对薄膜透过率的影响 | 第34-35页 |
| ·Cr 含量对薄膜光致发光的影响 | 第35-37页 |
| ·衬底温度对Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜性质的影响 | 第37-41页 |
| ·实验过程和参数 | 第37-38页 |
| ·衬底温度对薄膜结构的影响 | 第38-39页 |
| ·衬底温度对薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| ·衬底温度对薄膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| ·退火对Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜性质的影响研究 | 第41-43页 |
| ·空气中退火时退火温度对薄膜结构性质的影响 | 第41页 |
| ·氧气中退火时退火温度对Zn_(0.98)Cr_(0.02)O 薄膜发光的性质影响 | 第41-42页 |
| ·空气中退火时退火温度对Zn_(0.98)Cr_(0.02)O 薄膜发光的性质影响 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 总结与展望 | 第45-47页 |
| ·总结 | 第45-46页 |
| ·下一步工作展望 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-53页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
