| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·微机电系统中微梁变形行为的尺度效应研究意义 | 第9-10页 |
| ·微机电系统中微梁变形行为的尺度效应研究方法 | 第10-12页 |
| ·尺度效应的基本概念 | 第10页 |
| ·耦合场分析 | 第10-11页 |
| ·有限元TRANS126 换能器单元分析 | 第11-12页 |
| ·微机电系统微梁变形行为的尺度效应国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·微机电系统微梁变形行为的尺度效应国外研究现状 | 第12页 |
| ·微机电系统微梁变形行为的尺度效应国内研究现状 | 第12-14页 |
| ·本课题拟解决的关键问题和研究方案的确定 | 第14页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 微梁的静电力分析 | 第16-23页 |
| ·静电力概述 | 第17-18页 |
| ·无限大平板静电力计算 | 第18-19页 |
| ·微梁结构的边缘效应模型 | 第19-22页 |
| ·基于分离变量法得到的级数解 | 第19-20页 |
| ·考虑极板厚度时的边缘效应 | 第20-21页 |
| ·基于保角变换的计算式 | 第21页 |
| ·经验公式 | 第21页 |
| ·平行板上下电极板间静电力的模拟计算 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 静电驱动微梁的吸合效应分析 | 第23-36页 |
| ·静电驱动微梁基于有限元直接耦合法的机—电耦合分析 | 第23-24页 |
| ·微梁的静电驱动特性—吸合效应 | 第24-26页 |
| ·微悬臂梁吸合效应分析 | 第24-26页 |
| ·两端固支微梁吸合效应分析 | 第26页 |
| ·几何结构参数与静态吸合效应的关系 | 第26-32页 |
| ·微悬臂梁的吸合效应 | 第26-29页 |
| ·两端固支微梁的吸合效应 | 第29-32页 |
| ·静电驱动微梁静力分析 | 第32-35页 |
| ·微悬臂梁变形分析 | 第32-33页 |
| ·两端固支微梁的变形分析 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 微梁驱动结构的动态特性分析 | 第36-49页 |
| ·微梁的动态耦合过程 | 第36-39页 |
| ·静电驱动微梁的振动理论分析 | 第39-41页 |
| ·微悬臂梁的自振频率和振型 | 第39-40页 |
| ·两端固支微梁的自振频率和振型 | 第40-41页 |
| ·微梁振动固有频率的尺度效应 | 第41页 |
| ·微梁基于TRANS126 单元的模态分析 | 第41-46页 |
| ·微悬臂梁的模态分析 | 第42-44页 |
| ·两端固支微梁的模态分析 | 第44-46页 |
| ·微梁基于TRANS126 单元的瞬态分析 | 第46-48页 |
| ·微悬臂梁吸合时间分析 | 第46-47页 |
| ·边界条件对吸合时间的影响 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 微梁静态挠度变形尺度效应的解析分析 | 第49-60页 |
| ·微梁材料特性—有效弹性模量的尺度效应 | 第49-52页 |
| ·微梁有效弹性模量的尺度效应理论分析 | 第49-51页 |
| ·微梁有效弹性模量静力分析中的效应影响 | 第51-52页 |
| ·微梁的变形分析 | 第52-56页 |
| ·微梁的横向振动方程 | 第52-54页 |
| ·静电驱动下微梁的变形解析分析模型 | 第54-56页 |
| ·静电驱动下微梁的变形解析模型求解实例 | 第56-59页 |
| ·有限元TRANS126 单元模拟仿真 | 第56-57页 |
| ·数学解析模型计算实例 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间正式发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |