镍/铁沉积薄膜微观结构及其特性的分子动力学研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第1章 引言	第8-14页
·薄膜概述及覆镍钢带	第8-10页
·薄膜概述	第8-9页
·覆镍钢带及研究现状	第9-10页
·物理气相沉积	第10页
·薄膜的形成与生长	第10-11页
·分子动力学模拟在薄膜生长中的应用	第11-12页
·研究意义	第12-14页
第2章 分子动力学方法及技术	第14-22页
·引言	第14-15页
·分子动力学基本原理	第15页
·积分方法	第15-16页
·周期边界条件	第16-17页
·温度控制方法	第17-18页
·分析方法	第18-21页
·径向分布函数	第18-20页
·键对分析技术	第20-21页
·小结	第21-22页
第3章 模型的建立及势函数的确定	第22-27页
·模型的建立	第22-23页
·势函数的确定	第23-26页
·小结	第26-27页
第4章 模拟结果及分析	第27-49页
·沉积温度对 Ni/Fe 沉积薄膜的影响	第27-37页
·沉积温度对界面层的影响	第31-34页
·沉积温度对界面层微观结构的影响	第34-36页
·小结	第36-37页
·入射能量对 Ni/Fe 沉积薄膜的影响	第37-45页
·入射角度对沉积薄膜的影响	第45-48页
·二维生长模型	第45-46页
·入射角度对Fe/Fe 薄膜生长的影响	第46-48页
·小结	第48-49页
第5章 总结与展望	第49-51页
·结论	第49页
·工作展望	第49-51页
参考文献	第51-56页
致谢	第56-57页
攻读学位期间发表论文目录	第57页