| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·薄膜材料及其力学性能测试 | 第9-10页 |
| ·纳米压痕技术简介 | 第10-13页 |
| ·纳米压痕的实验测试 | 第13-14页 |
| ·纳米压痕的数值模拟 | 第14-16页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第16-19页 |
| ·本文的选题依据 | 第16-17页 |
| ·本文的主要工作 | 第17-19页 |
| 第2章 各向同性薄膜材料的弹性力学参数 | 第19-30页 |
| ·各向同性的弹性膜基体系 | 第19-20页 |
| ·各向同性的弹性膜基体系压痕响应的无量纲分析 | 第20-21页 |
| ·ABAQUS有限元软件及其应用 | 第21-23页 |
| ·有限元模拟各向同性弹性膜基体系数值加载曲线 | 第23-26页 |
| ·加载曲线指数的无量纲方程拟合 | 第26-28页 |
| ·基底效应在反向分析中的应用 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 横观各向同性薄膜材料的弹性刚度系数 | 第30-44页 |
| ·横观各向同性薄膜材料的弹性本构关系 | 第30-32页 |
| ·求解横观各向同性薄膜材料弹性刚度系数的正向分析 | 第32-41页 |
| ·压痕响应的无量纲分析 | 第32-33页 |
| ·有限元模拟数值加载曲线 | 第33-36页 |
| ·最大加载力和加载曲线指数的无量纲方程拟合 | 第36-41页 |
| ·求解横观各向同性薄膜材料弹性刚度系数的反向分析 | 第41-43页 |
| ·反向分析算法 | 第41页 |
| ·纳米压痕实验及弹性刚度系数的确定 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 横观各向同性压电薄膜材料的弹性刚度系数 | 第44-56页 |
| ·横观各向同性压电薄膜材料的本构关系 | 第44页 |
| ·求解横观各向同性压电薄膜材料弹性刚度系数的正向分析 | 第44-54页 |
| ·已知压电和介电系数时压痕响应的无量纲分析 | 第45-46页 |
| ·有限元模拟压电薄膜材料的数值加载曲线 | 第46-50页 |
| ·考虑压电效应时最大加载力和加载曲线指数的无量纲方程拟合 | 第50-54页 |
| ·求解横观各向同性压电薄膜材料弹性刚度系数的反向分析 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 横观各向同性压电薄膜材料的压电系数 | 第56-68页 |
| ·求解横观各向同性压电薄膜材料压电系数的正向分析 | 第56-62页 |
| ·已知弹性刚度系数时压痕响应的无量纲分析 | 第56-57页 |
| ·已知弹性刚度系数时改变压电系数的有限元模拟 | 第57-60页 |
| ·求解压电系数的无量纲方程拟合 | 第60-62页 |
| ·求解横观各向同性压电薄膜材料压电系数的反向分析 | 第62-66页 |
| ·纵向应变压电系数 | 第62-63页 |
| ·求解压电系数的反向分析算法 | 第63-64页 |
| ·纳米压痕实验及压电系数的确定 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 第6章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第75页 |
