| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS微陀螺国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.3 静动态性能优化设计的国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 主要研究内容和创新点 | 第19-21页 |
| 1.4.1 主要研究内容 | 第19-20页 |
| 1.4.2 创新点 | 第20-21页 |
| 第二章 响应面法及多目标优化算法的简介 | 第21-27页 |
| 2.1 试验设计 | 第21-23页 |
| 2.1.1 中心复合设计 | 第22页 |
| 2.1.2 Box-Behnken设计 | 第22-23页 |
| 2.2 响应面模型的构建与检验 | 第23-24页 |
| 2.2.1 响应面近似模型 | 第23页 |
| 2.2.2 模型精度的检验 | 第23-24页 |
| 2.3 基于遗传算法的多目标优化算法 | 第24-26页 |
| 2.3.1 遗传算法概述 | 第24-25页 |
| 2.3.2 多目标优化问题概述 | 第25页 |
| 2.3.3 多目标优化的最优解与Pareto最优解 | 第25页 |
| 2.3.4 多目标遗传算法 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 两类双驱动双检测微陀螺的性能优化 | 第27-43页 |
| 3.1 优化流程 | 第27-28页 |
| 3.2 第一类微陀螺的性能优化 | 第28-36页 |
| 3.2.1 工作原理及结构 | 第28-30页 |
| 3.2.2 灵敏度及带宽的定义 | 第30-31页 |
| 3.2.3 基于特征提取确定约束条件 | 第31-33页 |
| 3.2.4 响应面模型构建与精度分析 | 第33-35页 |
| 3.2.5 多目标优化 | 第35-36页 |
| 3.3 第二类微陀螺的性能优化 | 第36-42页 |
| 3.3.1 工作原理及结构 | 第36-38页 |
| 3.3.2 基于特征提取确定约束条件 | 第38-40页 |
| 3.3.3 响应面模型构建与精度检验 | 第40-41页 |
| 3.3.4 多目标优化 | 第41-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 两类双驱动双检测微陀螺动静态性能的仿真 | 第43-56页 |
| 4.1 第一类微陀螺的电学模型与动态性能仿真 | 第43-49页 |
| 4.1.1 驱动部分电学模型的建立 | 第43-45页 |
| 4.1.2 检测部分电学模型的建立 | 第45-46页 |
| 4.1.3 整体结构电学模型的建立 | 第46-48页 |
| 4.1.4 电学模型的仿真 | 第48-49页 |
| 4.2 第二类微陀螺的结构设计与静态性能仿真 | 第49-55页 |
| 4.2.1 弹性梁的结构参数设计 | 第50-52页 |
| 4.2.2 陀螺整体结构的设计 | 第52-53页 |
| 4.2.3 模态分析 | 第53-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 驱动刚度非线性对不同带宽下四自由度微陀螺动态性能的影响 | 第56-63页 |
| 5.1 刚度非线性摄动分析 | 第56-58页 |
| 5.2 刚度非线性对检测输出的影响 | 第58-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 总结和展望 | 第63-65页 |
| 6.1 总结 | 第63页 |
| 6.2 展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |