SOI横向功率器件的高压互连效应的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 专用术语注释表 | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 功率器件发展概述 | 第12-13页 |
| 1.2 横向功率器件研究现状 | 第13-19页 |
| 1.2.1 SOI功率集成技术概述 | 第13-15页 |
| 1.2.2 横向耐压技术 | 第15-19页 |
| 1.3 高压互连结构 | 第19-25页 |
| 1.3.1 高压互连效应 | 第20页 |
| 1.3.2 改善高压互连效应的技术 | 第20-25页 |
| 1.4 本文的主要工作及创新点 | 第25-26页 |
| 第二章 高压互连线效应 | 第26-39页 |
| 2.1 基本结构 | 第26-27页 |
| 2.2 高压互连对电场分布的影响 | 第27-34页 |
| 2.2.1 二维仿真模拟 | 第27-31页 |
| 2.2.2 三维仿真模拟 | 第31-34页 |
| 2.3 考虑高压互连线时器件参数优化 | 第34-38页 |
| 2.3.1 基本结构参数分析 | 第34-37页 |
| 2.3.2 互连线结构参数分析 | 第37-38页 |
| 2.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 高压互连结构解析模型 | 第39-54页 |
| 3.1 势场分布模型 | 第39-46页 |
| 3.2 击穿电压模型 | 第46-47页 |
| 3.3 器件结构参数对器件击穿特性的影响 | 第47-52页 |
| 3.3.1 基本结构参数分析 | 第47-50页 |
| 3.3.2 互连线结构参数分析 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 具有高K介质柱的三维高压互连结构 | 第54-71页 |
| 4.1 器件结构及其耐压机理 | 第54-59页 |
| 4.1.1 器件结构 | 第54-55页 |
| 4.1.2 耐压机理 | 第55-59页 |
| 4.2 二维解析模型 | 第59-61页 |
| 4.3 耐压特性分析 | 第61-70页 |
| 4.3.1 基本结构参数分析 | 第62-68页 |
| 4.3.2 互连线结构参数分析 | 第68-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第77-78页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
