激光驱动MEMS器件仿真以及深度优化
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 微机电系统研究背景 | 第9页 |
| 1.2 微机电系统发展历程 | 第9-11页 |
| 1.3 微机电系统的分类 | 第11页 |
| 1.4 MEMS执行机构的研究现状以及设计平台 | 第11-13页 |
| 1.5 神经网络研究 | 第13-15页 |
| 1.5.1 BP神经网络 | 第14-15页 |
| 1.5.2 Elman神经网络 | 第15页 |
| 1.6 本文研究问题的提出以及主要工作 | 第15-17页 |
| 1.6.1 论文研究问题的提出 | 第15-16页 |
| 1.6.2 论文主要工作 | 第16页 |
| 1.6.3 论文主要内容 | 第16-17页 |
| 1.7 本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 驱动原理以及激光驱动技术 | 第18-23页 |
| 2.1 压电驱动工作原理 | 第18页 |
| 2.2 电磁式微驱动原理 | 第18-19页 |
| 2.3 静电式微驱动器 | 第19-20页 |
| 2.4 电热驱动原理 | 第20-21页 |
| 2.5 激光驱动技术 | 第21-22页 |
| 2.6 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 激光物理模型及有限元应用 | 第23-32页 |
| 3.1 激光理论模型的建立 | 第23页 |
| 3.2 有限元理论 | 第23-24页 |
| 3.2.1 有限元法原理 | 第23-24页 |
| 3.2.2 有限元法步骤 | 第24页 |
| 3.2.3 有限元软件 | 第24页 |
| 3.3 激光打孔与器件仿真模型的建立与分析 | 第24-31页 |
| 3.3.1 激光物理模型的有限元结果 | 第24-26页 |
| 3.3.2 激光打孔有限元模型 | 第26-28页 |
| 3.3.3 微机电系统的器件仿真 | 第28-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 激光驱动双层悬臂梁结构的建模仿真 | 第32-41页 |
| 4.1 悬臂梁结构 | 第32页 |
| 4.2 悬臂梁工作原理 | 第32-34页 |
| 4.2.1 弯曲模式 | 第33页 |
| 4.2.2 谐振模式 | 第33-34页 |
| 4.3 激光驱动双层悬臂梁 | 第34-37页 |
| 4.3.1 激光驱动双层悬臂梁结构的物理模型 | 第34-36页 |
| 4.3.2 激光热膨胀物理模型 | 第36-37页 |
| 4.4 仿真模拟及对比验证 | 第37-40页 |
| 4.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 神经网络优化过程 | 第41-54页 |
| 5.1 神经网络在深度优化方面的应用 | 第41页 |
| 5.2 神经网络在飞轮深度优化的应用 | 第41-47页 |
| 5.2.1 飞轮结构有限元模型 | 第41-44页 |
| 5.2.2 飞轮神经网络模型 | 第44-47页 |
| 5.3 神经网络优化在MEMS器件仿真的应用 | 第47-53页 |
| 5.3.1 电驱动双热臂结构的神经网络模型 | 第47-49页 |
| 5.3.2 激光驱动双层悬臂梁结构的神经网络模型 | 第49-52页 |
| 5.3.3 神经网络与有限元消耗时间对比分析 | 第52-53页 |
| 5.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第6章 结论及展望 | 第54-55页 |
| 6.1 结论 | 第54页 |
| 6.2 展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间所展开的科研项目及主要成果 | 第60页 |
