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Ta3N5薄膜光学各向异性及其光生载流子复合机制研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第12-51页
    1.1 前言第12-13页
    1.2 半导体/电解液结的基本结构第13-15页
    1.3 光电化学水分解电池基本结构与工作原理第15-20页
        1.3.1 光电化学水分解电池的起源与发展第15-16页
        1.3.2 光电化学水分解电池的基本结构及工作原理第16-17页
        1.3.3 光电化学水分解电池主要的类型及工作原理第17-20页
    1.4 光电化学水分解电池主要性能参数及影响因素第20-23页
    1.5 几种常见n型半导体光电极研究现状第23-38页
        1.5.1 α-Fe_2O_3光阳极的研究现状第23-29页
        1.5.2 Ta_3N_5光阳极的研究现状第29-35页
        1.5.3 Ta_3N_5光学各向异性及其物理机制第35-36页
        1.5.4 Ta_3N_5光学各向异性的研究现状及其对半导体光阳极光电化学性能的影响第36-38页
    1.6 本文研究思路及主要研究内容第38-39页
    1.7 本文的创新点第39-40页
    参考文献第40-51页
第二章 Ta_3N_5薄膜的材料表征方法第51-58页
    2.1 主要化学试剂第51页
    2.2 薄膜样品制备第51-52页
        2.2.1 基底清洗和预处理第51页
        2.2.2 薄膜样品及光阳极制备第51-52页
        2.2.3 光阳极表面电催化材料表面修饰第52页
    2.3 光阳极的物性表征第52-54页
        2.3.1 X射线衍射(XRD)第52-53页
        2.3.2 拉曼光谱(Raman)第53页
        2.3.3 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)第53页
        2.3.4 透射电子显微镜(TEM)第53页
        2.3.5 紫外-可见吸收光谱(UV-vis)第53-54页
        2.3.6 X射线光电子能谱仪(XPS)第54页
        2.3.7 荧光光谱仪(PL)第54页
    2.4 光电极的光电化学性能表征第54-57页
        2.4.1 循环伏安I-V测试第54-55页
        2.4.2 外量子效率(Incident photon-to-current efficiency/external quantum efficiency,IPCE)第55页
        2.4.3 安培时间i-t测试第55页
        2.4.4 法拉第效率测试第55-56页
        2.4.5 莫特-肖特基(Mott-Schottky)测试第56-57页
    参考文献第57-58页
第三章 Ta_3N_5薄膜的光学各向异性及缺陷态表征第58-75页
    3.1 引言第58页
    3.2 实验部分第58-60页
        3.2.1 Ta_3N_5薄膜UV-vis光吸收图谱测试第59页
        3.2.2 Raman和变温激光荧光光谱的测试第59-60页
    3.3 结果与分析第60-71页
        3.3.1 不同氮化温度的Ta_3N_5薄膜物相分析第60-62页
        3.3.2 不同氮化温度的Ta_3N_5薄膜UV-vis吸收图谱分析第62-63页
        3.3.3 不同氮化温度的Ta_3N_5薄膜荧光光谱分析第63-70页
        3.3.4 不同氮化温度的Ta_3N_5薄膜XPS分析第70-71页
    3.4 本章小结第71-72页
    参考文献第72-75页
第四章 Zr_2ON_2晶体诱导(023)晶面优势生长的Ta_3_N5薄膜的光学各向异性研究第75-92页
    4.1 引言第75页
    4.2 实验部分第75-78页
        4.2.1 样品制备第75-77页
        4.2.2 样品的封装第77-78页
        4.2.3 光电化学测试第78页
    4.3 实验结果与分析第78-89页
        4.3.1 不同掺杂剂量的Zr对Ta_3N_5物相的影响第78-81页
        4.3.2 不同Zr/Ta原子比的Ta_3N_5 UV-vis光吸收图谱的影响第81-82页
        4.3.3 不同Zr/Ta摩尔比对Ta_3N_5中氧杂质含量的影响第82-85页
        4.3.4 不同Zr/Ta摩尔比的Ta_3N_5荧光PL谱第85-86页
        4.3.5 不同Zr/Ta摩尔比对Ta_3N_5薄膜形貌的影响第86-87页
        4.3.6 不同Zr/Ta前驱体所制备的Ta_3N_5光阳极光电化学性能表征第87-89页
    4.4 本章小结第89-90页
    参考文献第90-92页
第五章 Mg~(2+)对Ta_3N_5物相和光学特性的影响第92-105页
    5.1 引言第92页
    5.2 样品制备第92-94页
        5.2.1 薄膜样品制备第92-94页
    5.3 实验结果与讨论第94-103页
        5.3.1 薄膜样品的物相分析第94-96页
        5.3.2 不同Mg/Ta、Zr/Ta和Mg-Zr/Ta的Ta_3N_5的光吸收第96-97页
        5.3.3 Mg掺杂Ta_3N_5的理论计算第97-98页
        5.3.4 电子能谱数据分析第98-99页
        5.3.5 荧光PL谱分析第99-100页
        5.3.6 Mg~(2+)对Ta_3N_5结晶性提高的机理研究第100-102页
        5.3.7 Mg~(2+)和Mg-Zr掺杂对Ta_3N_5光阳极光电化学性能的影响第102-103页
    5.4 结论第103-104页
    参考文献第104-105页
第六章 电子束蒸发制备、调控Ta_3N_5薄膜形貌及其光电化学性能研究第105-123页
    6.1 引言第105页
    6.2 实验部分第105-108页
        6.2.1 铂钛硅基底上制备Ta_3N_5薄膜第105-107页
        6.2.2 样品形貌分析SEM第107页
        6.2.3 电化学性能表征第107-108页
    6.3 结果与分析第108-121页
        6.3.1 不同蒸镀条件对Ta_3N_5光阳极形貌及性能的影响第108-114页
        6.3.2 高性能Ta_3N_5薄膜光电化学性能表征第114-115页
        6.3.3 最佳性能Ta_3N_5光阳极的SEM表征第115-116页
        6.3.4 电子束蒸发制备的Ta_3N_5薄膜电子能谱表征第116-117页
        6.3.5 最佳条件下得到Ta_3N_5薄膜的荧光光谱第117-118页
        6.3.6 铂钛硅漏电对Ta_3N_5薄膜光电化学性能的影响第118-119页
        6.3.7 Ta_3N_5/铂钛硅光阳极的光电化学稳定性表征第119-121页
    6.4 实验结论第121-122页
    参考文献第122-123页
总结与展望第123-125页
    主要结论第123页
    后续工作展望第123-125页
攻读博士学位期间发表的学术论文及奖励第125-127页
致谢第127-128页

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