基于平板式电容的微位移测量系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·常见的几种位移测量技术 | 第9-11页 |
| ·电容传感器研究现状 | 第11-12页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第12-13页 |
| 2 电容传感器基本理论 | 第13-23页 |
| ·平行板电容传感器的测量原理 | 第13-18页 |
| ·变极距型电容传感器 | 第13-16页 |
| ·变面积型电容传感器 | 第16-17页 |
| ·变介电常数型电容传感器 | 第17-18页 |
| ·电容传感器边缘效应研究 | 第18-20页 |
| ·电容式传感器的等效电路 | 第20-21页 |
| ·电容传感器设计要点 | 第21-22页 |
| ·选材与加工 | 第21页 |
| ·消除边缘效应 | 第21-22页 |
| ·克服寄生电容的影响 | 第22页 |
| ·减小外界干扰 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 一种改进型精密整流电路 | 第23-31页 |
| ·整流电路原理 | 第23-25页 |
| ·典型精密整流电路 | 第25-28页 |
| ·改进型精密整流电路 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 电容式微位移测量系统整机设计 | 第31-46页 |
| ·电容传感器探头结构设计 | 第31-32页 |
| ·正弦激励电路设计 | 第32-35页 |
| ·常用的几种正弦波振荡电路 | 第32-34页 |
| ·正弦激励电路设计 | 第34-35页 |
| ·转换电路设计 | 第35-40页 |
| ·调零电路设计 | 第40-41页 |
| ·精密整流电路设计 | 第41-43页 |
| ·增益滤波电路设计 | 第43-44页 |
| ·稳压电源设计 | 第44-45页 |
| ·整机电路设计与实现 | 第45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 实验测试与性能分析 | 第46-57页 |
| ·数据采集系统设计 | 第46-48页 |
| ·线性度测试 | 第48-52页 |
| ·非线性修正方法 | 第48-49页 |
| ·线性度测试 | 第49-52页 |
| ·稳定性测试 | 第52-54页 |
| ·重复测量精度测试 | 第54页 |
| ·误差分析 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
