微结构密集阵列精密加工与在位检测技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 课题的来源及课题的背景意义 | 第15-17页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第15页 |
| 1.1.2 课题研究背景和意义 | 第15-17页 |
| 1.2 微结构的检测方法与研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.1 微结构阵列的检测方法 | 第17页 |
| 1.2.2 国内外在位检测研究现状 | 第17-19页 |
| 1.3 微结构阵列加工及机床的研究现状 | 第19-22页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 微结构密集阵列加工与检测总体方案设计 | 第24-37页 |
| 2.1 微结构密集阵列精密加工机床概述 | 第24-27页 |
| 2.1.1 机床本体结构概述 | 第24-25页 |
| 2.1.2 机床数控系统硬件概述 | 第25-27页 |
| 2.2 在位检测系统功能需求概述 | 第27-28页 |
| 2.3 加工与在位检测应用流程 | 第28-29页 |
| 2.4 在位检测系统硬件平台的设计 | 第29-36页 |
| 2.4.1 工业相机的选型 | 第29-31页 |
| 2.4.2 工业镜头的选型 | 第31-32页 |
| 2.4.3 光源和照射方式的选择 | 第32-36页 |
| 2.5 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 微结构密集阵列加工实验及工艺改进研究 | 第37-59页 |
| 3.1 加工工艺及改进研究 | 第37-49页 |
| 3.1.1 加工工艺流程 | 第37-38页 |
| 3.1.2 模芯平面度检测与分析 | 第38-41页 |
| 3.1.3 加工平台的调节实验及改进研究 | 第41-45页 |
| 3.1.4 加工对刀实验及改进研究 | 第45-49页 |
| 3.2 刀具与不同材质模芯耦合加工实验 | 第49-54页 |
| 3.2.1 模具钢模芯的加工实验 | 第51-53页 |
| 3.2.2 铝合金模芯的加工实验 | 第53-54页 |
| 3.2.3 黄铜模芯的加工实验 | 第54页 |
| 3.3 刀具与不同材质耦合加工质量分析 | 第54-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 微结构密集阵列在位检测系统软件实现 | 第59-91页 |
| 4.1 在位检测系统软件实现流程 | 第59-60页 |
| 4.2 相机标定 | 第60-66页 |
| 4.2.1 图像处理涉及的坐标系及其关系 | 第60-62页 |
| 4.2.2 标定分析与像素当量实验 | 第62-66页 |
| 4.3 图像预处理 | 第66-72页 |
| 4.3.1 图像灰度化 | 第66-67页 |
| 4.3.2 滤波效果分析与算法选择 | 第67-72页 |
| 4.4 阈值分割效果分析与算法选择 | 第72-76页 |
| 4.5 二值图像形态学处理 | 第76-78页 |
| 4.6 图像边缘检测 | 第78-83页 |
| 4.6.1 边缘检测要求 | 第78页 |
| 4.6.2 像素级边缘检测 | 第78-80页 |
| 4.6.3 亚像素边缘检测 | 第80-83页 |
| 4.7 系统的封装研究和结果显示 | 第83-87页 |
| 4.8 微结构深度检测与系统精度验证 | 第87-90页 |
| 4.9 本章小结 | 第90-91页 |
| 第五章 微结构密集阵列加工误差分析与补偿技术研究 | 第91-109页 |
| 5.1 微结构密集阵列加工误差分析 | 第91-94页 |
| 5.2 压电陶瓷位移输出特性研究 | 第94-99页 |
| 5.3 微结构密集阵列加工补偿技术研究 | 第99-103页 |
| 5.4 微结构密集阵列圆心距的误差分析与补偿 | 第103-108页 |
| 5.5 本章小结 | 第108-109页 |
| 总结与展望 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-117页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第117-119页 |
| 致谢 | 第119页 |
