| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 粘滑驱动精密定位台的国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 摩擦模型的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4 纳米精密定位台闭环控制的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 摩擦模型的建立与分析 | 第18-31页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 粘滑运动中摩擦力的产生原理及特性 | 第18页 |
| 2.3 LS 模型的提出 | 第18-20页 |
| 2.4 LS 模型的仿真及分析 | 第20-24页 |
| 2.4.1 LS 模型的 STRIBECK 效应仿真 | 第20-21页 |
| 2.4.2 LS 模型的迟滞性仿真 | 第21-22页 |
| 2.4.3 LS 模型的 nonlocal memory 现象仿真 | 第22-23页 |
| 2.4.4 LS 模型的频率独立性仿真 | 第23-24页 |
| 2.5 基于 LS 模型的粘滑定位台动力学仿真分析 | 第24-30页 |
| 2.5.1 纳米精密定位台的动力学模型 | 第24-27页 |
| 2.5.2 纳米精密定位台的动力学仿真 | 第27-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 纳米精密定位台控制系统的设计与仿真 | 第31-43页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 整体控制方案的设计 | 第31-32页 |
| 3.3 压电陶瓷-柔性铰链系统的建模与分析 | 第32-36页 |
| 3.3.1 压电陶瓷模型的建立 | 第32-34页 |
| 3.3.2 柔性铰链的刚度计算 | 第34-35页 |
| 3.3.3 压电陶瓷-柔性铰链系统的动力学建模 | 第35-36页 |
| 3.4 压电陶瓷的闭环控制及仿真 | 第36-40页 |
| 3.4.1 前馈控制原理 | 第37页 |
| 3.4.2 前馈-PID 控制的仿真与计算 | 第37-40页 |
| 3.5 纳米精密定位台的闭环控制及仿真 | 第40-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 粘滑驱动精密定位台控制实验 | 第43-59页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 实验系统的建立 | 第43-44页 |
| 4.3 传感器安装位置的确定 | 第44-45页 |
| 4.4 信号采集电路的设计 | 第45-48页 |
| 4.4.1 信号的放大及补偿 | 第45-47页 |
| 4.4.2 信号的滤波 | 第47-48页 |
| 4.5 传感器标定实验 | 第48-50页 |
| 4.6 压电陶瓷闭环控制实验 | 第50-54页 |
| 4.6.1 压电陶瓷闭环控制的重复定位精度实验 | 第50-51页 |
| 4.6.2 纳米精密定位台的分辨率实验 | 第51-52页 |
| 4.6.3 压电陶瓷闭环控制的动态性能实验 | 第52-54页 |
| 4.7 纳米精密定位台的性能测试 | 第54-58页 |
| 4.7.1 纳米精密定位台的重复定位精度实验 | 第54-55页 |
| 4.7.2 预测开关控制方法的验证实验 | 第55页 |
| 4.7.3 纳米精密定位台的动态性能实验 | 第55-58页 |
| 4.8 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
