| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 目录 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-24页 |
| 1.1 微细线切割加工技术概述 | 第13-14页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第14-17页 |
| 1.3 微细线切割加工技术的特点 | 第17-19页 |
| 1.4 微细线切割机床的发展状况 | 第19-22页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 水平走丝微细线切割加工装置的设计 | 第24-46页 |
| 2.1 微细线切割加工装置的总体设计方案 | 第24-27页 |
| 2.1.1 精密伺服进给装置 | 第25-27页 |
| 2.1.2 花岗岩基座及微细夹具的设计 | 第27页 |
| 2.2 水平走丝机构的设计与实现 | 第27-39页 |
| 2.2.1 走丝机构的设计准则 | 第29-30页 |
| 2.2.2 水平走丝方案的确定 | 第30-32页 |
| 2.2.3 电极丝的选取 | 第32-34页 |
| 2.2.4 张力控制的实现 | 第34-38页 |
| 2.2.5 水平走丝机构的特点 | 第38-39页 |
| 2.3 微细脉冲电源 | 第39-42页 |
| 2.3.1 微细脉冲电源的要求 | 第39-40页 |
| 2.3.2 微细脉冲电源测试 | 第40-42页 |
| 2.4 放电状态检测电路的搭建 | 第42-45页 |
| 2.4.1 平均电压检测电路的搭建 | 第42-44页 |
| 2.4.2 线性隔离电路的搭建 | 第44-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 基于 LinuxCNC 的微细线切割数控系统的设计 | 第46-61页 |
| 3.1 微细线切割数控系统的特殊性要求 | 第46-48页 |
| 3.2 LinuxCNC 数控系统的软件构架 | 第48-53页 |
| 3.2.1 LinuxCNC 数控系统构架概述 | 第49-52页 |
| 3.2.2 微细线切割数控系统的主要模块及通讯方式 | 第52-53页 |
| 3.3 微细线切割数控系统的配置 | 第53-56页 |
| 3.3.1 LinuxCNC 的模块配置 | 第54-55页 |
| 3.3.2 基于 Qt 的数控系统界面设计 | 第55-56页 |
| 3.4 微细线切割数控系统实时运动控制策略 | 第56-60页 |
| 3.4.1 单位弧长增量插补法 | 第57-58页 |
| 3.4.2 伺服控制器短路回退功能的实现 | 第58-60页 |
| 3.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 影响微细线切割加工性能的关键技术 | 第61-77页 |
| 4.1 伺服进给系统的设计 | 第61-71页 |
| 4.1.1 PID 控制器的设计分析 | 第61-63页 |
| 4.1.2 运动平台的系统模型辨识 | 第63-68页 |
| 4.1.3 PID 控制器参数的确定 | 第68-71页 |
| 4.2 微细电极丝的振动分析 | 第71-75页 |
| 4.2.1 电极丝振动的数学模型 | 第71-74页 |
| 4.2.2 降低电极丝振动的措施及实验验证 | 第74-75页 |
| 4.3 微细线切割加工的伺服进给策略 | 第75-76页 |
| 4.4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 水平走丝微细线切割加工装置的实验验证 | 第77-83页 |
| 5.1 水平走丝微细线切割加工装置 | 第77页 |
| 5.2 切槽实验分析 | 第77-78页 |
| 5.3 螺旋形结构零件加工实验 | 第78-82页 |
| 5.4 本章小结 | 第82-83页 |
| 第六章 研究成果及展望 | 第83-85页 |
| 6.1 研究成果 | 第83-84页 |
| 6.2 后续研究工作 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第90页 |