微分干涉相衬金相显微镜Nomarski棱镜设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| 1.1 研究背景 | 第7-8页 |
| 1.2 本课题的研究内容和意义 | 第8页 |
| 1.3 本论文所做的工作与内容安排 | 第8-10页 |
| 第二章 金相显微镜 | 第10-21页 |
| 2.1 引言 | 第10页 |
| 2.2 金相显微镜的基本原理 | 第10-14页 |
| 2.2.1 金相显微镜的成像原理 | 第10-11页 |
| 2.2.2 金相显微镜的像差 | 第11-12页 |
| 2.2.3 金相显微镜的像质 | 第12-14页 |
| 2.2.3.1 物镜的质量 | 第12-13页 |
| 2.2.3.2 目镜的质量 | 第13页 |
| 2.2.3.3 显微镜的放大倍率 | 第13页 |
| 2.2.3.4 显微镜的分辨率 | 第13-14页 |
| 2.3 金相显微镜的构造 | 第14-18页 |
| 2.3.1 光学系统 | 第14-15页 |
| 2.3.2 机械系统 | 第15-16页 |
| 2.3.3 照明系统 | 第16-18页 |
| 2.4 金相显微镜的性能检测 | 第18-20页 |
| 2.4.1 检测过程 | 第18-19页 |
| 2.4.2 检测结果 | 第19-20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 微分干涉相衬显微术 | 第21-43页 |
| 3.1 引言 | 第21页 |
| 3.2 微分干涉相衬显微术 | 第21-23页 |
| 3.2.1 微分干涉相衬显微术基本原理 | 第21-22页 |
| 3.2.2 微分干涉光学原理 | 第22-23页 |
| 3.2.3 形成微分干涉相衬显微术的具备条件 | 第23页 |
| 3.3 典型的Nomarski棱镜设计 | 第23-28页 |
| 3.3.1 分束角的设计计算 | 第24-25页 |
| 3.3.2 相干面距离的设计计算 | 第25-28页 |
| 3.3.3 光程差的计算 | 第28页 |
| 3.4 改进型的Nomarski棱镜设计 | 第28-34页 |
| 3.4.1 分束角的设计计算 | 第28-30页 |
| 3.4.2 相干面距离的设计计算 | 第30-33页 |
| 3.4.3 光程差的计算 | 第33-34页 |
| 3.5 MATLAB仿真设计 | 第34-40页 |
| 3.5.1 典型的Nomarski棱镜仿真 | 第34-37页 |
| 3.5.1.1 分束角ε的关系分析 | 第34-35页 |
| 3.5.1.2 相干平面倾角η的关系分析 | 第35-36页 |
| 3.5.1.3 相干平面出离量D的关系分析 | 第36-37页 |
| 3.5.2 改进型的Nomarski棱镜仿真 | 第37-40页 |
| 3.5.2.1 分束角s的关系分析 | 第37-38页 |
| 3.5.2.2 相干平面出离量D的关系分析 | 第38-40页 |
| 3.6 CAD棱镜设计 | 第40-41页 |
| 3.7 棱镜检测 | 第41-42页 |
| 3.8 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 微分干涉相衬金相显微镜的性能检测 | 第43-46页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 检测过程 | 第43-44页 |
| 4.3 检测结果 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 结束语 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 致谢 | 第50页 |
