| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第11-41页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 太阳能资源分布及其利用形式 | 第11-14页 |
| 1.2.1 太阳能资源分布 | 第11-12页 |
| 1.2.2 太阳能的利用形式 | 第12-13页 |
| 1.2.3 太阳能光热发电技术 | 第13-14页 |
| 1.3 太阳能选择性吸收薄膜 | 第14-20页 |
| 1.3.1 太阳能选择性吸收薄膜的基本概念 | 第14-16页 |
| 1.3.2 太阳能选择性吸收薄膜的基本类型 | 第16-17页 |
| 1.3.3 太阳能选择性吸收薄膜的研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4 太阳能选择性吸收薄膜的制备方法 | 第20-24页 |
| 1.4.1 磁控溅射技术 | 第21-22页 |
| 1.4.2 反应磁控溅射技术 | 第22-23页 |
| 1.4.3 射频磁控溅射技术 | 第23-24页 |
| 1.5 太阳能选择性吸收的理论基础 | 第24-31页 |
| 1.5.1 薄膜光学理论 | 第24-25页 |
| 1.5.2 等效媒介理论 | 第25-28页 |
| 1.5.3 薄膜反射率的理论计算方法 | 第28-31页 |
| 1.6 太阳能选择性吸收薄膜的结构设计 | 第31-35页 |
| 1.6.1 TiAl(O)N选择性吸收膜系的结构设计 | 第31-33页 |
| 1.6.2 干涉叠堆多层膜的结构设计 | 第33-35页 |
| 1.7 本课题的研究目的及意义 | 第35-37页 |
| 1.8 研究内容及技术路线 | 第37-41页 |
| 1.8.1 研究内容 | 第37-38页 |
| 1.8.2 技术路线 | 第38-41页 |
| 2 实验内容及实验方法 | 第41-53页 |
| 2.1 双吸收层薄膜的尺度设计及反射率计算 | 第41-43页 |
| 2.1.1 软件介绍 | 第41页 |
| 2.1.2 双吸收层尺度设计 | 第41-42页 |
| 2.1.3 双吸收层薄膜反射率的理论计算 | 第42-43页 |
| 2.2 实验材料及其预处理 | 第43-44页 |
| 2.3 薄膜沉积设备及其制备工艺参数 | 第44-48页 |
| 2.3.1 薄膜沉积设备 | 第44-46页 |
| 2.3.2 薄膜制备工艺参数 | 第46-48页 |
| 2.4 薄膜表征方法 | 第48-53页 |
| 2.4.1 薄膜成分分析 | 第48-49页 |
| 2.4.2 薄膜物相结构分析 | 第49页 |
| 2.4.3 薄膜微观形貌分析 | 第49页 |
| 2.4.4 薄膜光学性能分析 | 第49-50页 |
| 2.4.5 薄膜方块电阻的测试方法 | 第50-53页 |
| 3 实验结果与讨论 | 第53-101页 |
| 3.1 双吸收层尺度对薄膜成分结构和性能的影响 | 第53-67页 |
| 3.1.1 双吸收层尺度的理论计算结果和尺度验证 | 第53-58页 |
| 3.1.2 双吸收层尺度对薄膜成分结构的影响 | 第58-62页 |
| 3.1.3 双吸收层尺度对薄膜选择性吸收特性的影响 | 第62-64页 |
| 3.1.4 本章小结 | 第64-67页 |
| 3.2 射频工艺参数对Al_2O_3薄膜光学性能和形貌结构的影响 | 第67-87页 |
| 3.2.1 Al_2O_3薄膜的厚度控制的方法 | 第67-70页 |
| 3.2.2 射频功率对Al_2O_3薄膜光学性能、表面形貌和结晶程度的影响 | 第70-75页 |
| 3.2.3 基片温度对Al_2O_3薄膜光学性能、表面形貌及结晶程度的影响 | 第75-85页 |
| 3.2.4 本章小结 | 第85-87页 |
| 3.3 吸收层构型对AMA薄膜形貌、结构及性能的影响 | 第87-101页 |
| 3.3.1 吸收层构型对AMA薄膜微观形貌的影响 | 第87-88页 |
| 3.3.2 吸收层构型对AMA薄膜物相结构的影响 | 第88页 |
| 3.3.3 不同吸收层构型的AMA薄膜的四点探针测试结果及分析 | 第88-89页 |
| 3.3.4 吸收层构型对AMA薄膜吸收性能的影响 | 第89-91页 |
| 3.3.5 热氧化处理对不同吸收层构型AMA薄膜形貌结构及吸收性能的影响 | 第91-98页 |
| 3.3.6 本章小结 | 第98-101页 |
| 4 结论 | 第101-103页 |
| 致谢 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-111页 |
| 附录 | 第111-121页 |
| 附录A Mathematica软件运行的简易程序 | 第111-112页 |
| 附录B 金属Mo薄膜的理论光学常数 | 第112-113页 |
| 附录C 石英玻璃片(SiO_2)的理论光学常数 | 第113-114页 |
| 附录D TiN薄膜的理论光学常数 | 第114-115页 |
| 附录E 不同尺度主吸收层和次吸收层的复折射率计算流程图 | 第115-116页 |
| 附录F 不同尺度主吸收层和次吸收层的复折射率计算结果 | 第116-117页 |
| 附录J 不同尺度组合的双吸收层薄膜的反射率计算流程图 | 第117-118页 |
| 附录H 改变Mo-TiAlN主吸收层尺度后薄膜的理论反射率计算结果 | 第118-119页 |
| 附录I 改变Mo-TiAl(O)N次吸收层尺度后薄膜的理论反射率计算结果 | 第119-121页 |
| 在校学习期间发表论文及获奖情况 | 第121页 |
