基于LabVIEW的四探针法薄层电阻测试系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 薄层电阻测试技术的发展现状 | 第10-11页 |
| 1.3 虚拟仪器技术概述 | 第11-16页 |
| 1.3.1 虚拟仪器定义 | 第11页 |
| 1.3.2 虚拟仪器与传统仪器的比较 | 第11-12页 |
| 1.3.3 虚拟仪器技术的国内外发展概况 | 第12-13页 |
| 1.3.4 虚拟仪器的构成 | 第13-16页 |
| 1.4 LabVIEW 软件介绍 | 第16-17页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 四探针测试方法的介绍 | 第19-37页 |
| 2.1 薄层电阻测试方法的具体分类 | 第19-21页 |
| 2.2 常用的薄层电阻测试方法 | 第21-25页 |
| 2.2.1 常规直线四探针法的测试原理 | 第21-24页 |
| 2.2.2 直线四探针法的测量要求 | 第24页 |
| 2.2.3 直线四探针法的边缘与厚度修正 | 第24-25页 |
| 2.3 范德堡法和改进的范德堡测试法 | 第25-29页 |
| 2.3.1 范德堡法的基本测试原理 | 第25-26页 |
| 2.3.2 改进的范德堡法的基本测试原理 | 第26页 |
| 2.3.3 改进的范德堡法的测试要求 | 第26-28页 |
| 2.3.4 改进的范德堡法的边缘修正 | 第28-29页 |
| 2.4 斜置式方形四探针测试法 | 第29-31页 |
| 2.5 RTS-8 型四探针测试仪 | 第31-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 课题的总体设计 | 第37-41页 |
| 3.1 系统的设计原则 | 第37-38页 |
| 3.2 对该测试系统的要求 | 第38页 |
| 3.3 主要内容和技术路线 | 第38-40页 |
| 3.4 测试系统的组成 | 第40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 测试系统的硬件设计 | 第41-51页 |
| 4.1 系统的硬件设计原理 | 第41-42页 |
| 4.2 恒流源电路 | 第42-43页 |
| 4.3 多路模拟通道 | 第43-45页 |
| 4.4 电压放大电路 | 第45-46页 |
| 4.5 温度传感器 | 第46-47页 |
| 4.6 数据采集卡 | 第47-49页 |
| 4.7 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 测试系统的软件设计 | 第51-63页 |
| 5.1 软件设计思想 | 第51-52页 |
| 5.2 测试系统界面构思方案 | 第52-53页 |
| 5.3 数据采集模块 | 第53-55页 |
| 5.4 数据处理模块 | 第55-56页 |
| 5.5 温度矫正模块 | 第56-57页 |
| 5.6 数据存储模块 | 第57页 |
| 5.7 数据读取模块 | 第57-58页 |
| 5.8 实验结果 | 第58-61页 |
| 5.9 本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第71页 |
