| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 蓝宝石的材料特性 | 第12-14页 |
| 1.2.1 蓝宝石的晶体结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 蓝宝石的物理性质 | 第13-14页 |
| 1.3 蓝宝石晶体研磨抛光加工的主要方法 | 第14-17页 |
| 1.3.1 蓝宝石晶体研抛加工技术 | 第14-17页 |
| 1.3.2 固结磨料研磨蓝宝石技术 | 第17页 |
| 1.4 CVD金刚石涂层工具加工脆硬材料技术 | 第17-19页 |
| 1.5 研究意义和研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 CVD金刚石涂层工具制备研究 | 第21-34页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 CVD金刚石的形核和生长 | 第21-22页 |
| 2.3 生长参数对CVD金刚石涂层形貌影响 | 第22-29页 |
| 2.3.1 实验设计与检测方法 | 第22-24页 |
| 2.3.2 反应气压的影响 | 第24-26页 |
| 2.3.3 甲烷浓度的影响 | 第26-27页 |
| 2.3.4 衬底温度的影响 | 第27-29页 |
| 2.4 CVD金刚石涂层工具制备及其表征 | 第29-33页 |
| 2.5 小结 | 第33-34页 |
| 第三章 蓝宝石晶体CVD金刚石涂层工具研磨机理研究 | 第34-51页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 经典机械作用去除模型与机理 | 第34-36页 |
| 3.3 单颗CVD金刚石晶粒磨粒材料去除数学模型 | 第36-44页 |
| 3.3.1 晶粒磨粒犁削深度的计算 | 第36-38页 |
| 3.3.2 单颗晶粒磨粒材料去除率的计算 | 第38-40页 |
| 3.3.3 材料去除率与表面粗糙度随时间的变化 | 第40-44页 |
| 3.4 CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石机理研究 | 第44-50页 |
| 3.4.1 研磨后CVD金刚石涂层工具研究 | 第44-47页 |
| 3.4.2 CVD金刚石涂层工具摩擦磨损特性 | 第47-49页 |
| 3.4.3 研磨过程中化学反应机理 | 第49-50页 |
| 3.5 小结 | 第50-51页 |
| 第四章 CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石的实验研究 | 第51-67页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石研磨效率研究 | 第51-59页 |
| 4.2.1 检测设备、实验材料及实验设计 | 第51-52页 |
| 4.2.2 参数对材料去除率的影响 | 第52-54页 |
| 4.2.3 参数对表面粗糙度的影响 | 第54-57页 |
| 4.2.4 参数选择及验证实验 | 第57-59页 |
| 4.3 CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石表面粗糙度研究 | 第59-66页 |
| 4.3.1 金刚石涂层工具选择与实验设计 | 第59-60页 |
| 4.3.2 研磨工艺参数对材料去除率的影响 | 第60-62页 |
| 4.3.3 研磨工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第62-64页 |
| 4.3.4 参数优化及验证实验 | 第64-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 小结 | 第67-68页 |
| 5.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第75页 |
