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宽量程Co基多层膜自旋传感器件及高精度接口芯片研究

摘要第4-6页
Abstract第6-8页
1 绪论第12-31页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 霍尔效应第13-16页
    1.3 反常霍尔效应传感器的研究进展第16-17页
    1.4 自旋传感器接口电路研究第17-23页
    1.5 集成自旋传感器的研究现状第23-28页
    1.6 集成自旋传感器研究的关键问题第28-29页
    1.7 论文研究目的与章节安排第29-31页
2 宽量程Co基多层膜反常霍尔传感器研究第31-46页
    2.1 反常霍尔元件制备工艺流程第31-35页
    2.2 宽量程Co基多层膜反常霍尔效应研究第35-40页
    2.3 Co基多层膜反常霍尔温度传感器的研究第40-45页
    2.4 本章小结第45-46页
3 传感器调理电路原理与设计第46-62页
    3.1 自旋传感器系统噪声源第46-47页
    3.2 斩波稳定技术第47-51页
    3.3 嵌套斩波可调增益放大器第51-54页
    3.4 互补式轨到轨差分运算放大器第54-58页
    3.5 仿真结果第58-60页
    3.6 本章小结第60-62页
4 增量ΣΔADC原理与系统研究第62-83页
    4.1 增量ΣΔ调制器的特点第62-63页
    4.2 增量ΣΔ调制器原理第63-68页
    4.3 增量ΣΔ调制器的设计第68-73页
    4.4 增量ΣΔ调制器的非理想因素建模第73-79页
    4.5 数字滤波器原理与设计第79-81页
    4.6 本章小结第81-83页
5 增量ΣΔADC电路设计与实现第83-100页
    5.1 调制器设计第83-84页
    5.2 积分器设计第84-87页
    5.3 运算放大器设计第87-94页
    5.4 比较器设计第94-97页
    5.5 两相不交叠时钟第97-98页
    5.6 版图设计第98-99页
    5.7 本章小结第99-100页
6 测试与分析第100-110页
    6.1 增量ΣΔADC的性能指标及测试第100-105页
    6.2 反常霍尔效应传感器测试第105-108页
    6.3 本章小结第108-110页
7 结论与展望第110-112页
    7.1 结论第110-111页
    7.2 对进一步工作的展望第111-112页
致谢第112-113页
参考文献第113-122页
附录1 攻读博士学位期间发表的论文第122页

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