| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 注释表 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-20页 |
| 1.2.1 油膜厚度测量早期发展 | 第13-18页 |
| 1.2.2 超声波测量法 | 第18-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容及目标 | 第20-22页 |
| 第二章 超声波反射系数法膜厚测量模型 | 第22-34页 |
| 2.1 超声测厚法基本声学理论 | 第22-25页 |
| 2.1.1 声波 | 第22-24页 |
| 2.1.2 声速 | 第24页 |
| 2.1.3 声压和声阻抗 | 第24-25页 |
| 2.2 超声波在入射界面处的反射与透射 | 第25-27页 |
| 2.3 机械润滑油膜声波反射系数 | 第27-33页 |
| 2.3.1 谐振模型 | 第28-31页 |
| 2.3.2 弹簧模型 | 第31-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 非理想界面的声波反射系数 | 第34-42页 |
| 3.1 粗糙度概述 | 第34页 |
| 3.2 表面粗糙度的评定参数 | 第34-35页 |
| 3.3 粗糙度对声波反射系数的影响 | 第35-36页 |
| 3.4 不同形貌粗糙表面下的修正系数 | 第36-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 压电MEMS超声换能器的研究 | 第42-56页 |
| 4.1 压电MEMS超声换能器概述 | 第42-43页 |
| 4.2 压电效应和压电材料 | 第43-44页 |
| 4.2.1 压电效应 | 第43页 |
| 4.2.2 常用压电材料 | 第43-44页 |
| 4.3 压电振子振动模式 | 第44-45页 |
| 4.4 压电振子边界条件和压电方程 | 第45-48页 |
| 4.4.1 压电振子的边界条件 | 第45-46页 |
| 4.4.2 压电振子的压电方程 | 第46-48页 |
| 4.5 压电材料其他重要参数 | 第48页 |
| 4.5.1 机电耦合系数 | 第48页 |
| 4.5.2 机械品质因数 | 第48页 |
| 4.5.3 电学品质因数 | 第48页 |
| 4.6 压电振子有限元仿真分析 | 第48-54页 |
| 4.6.1 有限元软件COMSOL Multiphysics | 第48-49页 |
| 4.6.2 压电振子有限元分析理论 | 第49-50页 |
| 4.6.3 压电振子有限元建模仿真 | 第50-54页 |
| 4.7 压电换能器的设计 | 第54-55页 |
| 4.8 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 高c轴取向AlN压电薄膜的制备研究 | 第56-66页 |
| 5.1 AlN材料的晶体结构 | 第56-57页 |
| 5.2 AlN薄膜制备原理 | 第57-59页 |
| 5.2.1 反应磁控溅射 | 第57-58页 |
| 5.2.2 AlN薄膜的表征技术 | 第58-59页 |
| 5.3 AlN薄膜制备过程 | 第59-61页 |
| 5.3.1 衬底的选择和预处理 | 第60-61页 |
| 5.3.2 AlN薄膜的制备过程 | 第61页 |
| 5.4 影响Al N薄膜取向性的因素分析 | 第61-65页 |
| 5.4.1 氮气流量比对AlN薄膜的影响 | 第61-62页 |
| 5.4.2 溅射功率对AlN薄膜的影响 | 第62-63页 |
| 5.4.3 不同中间层对AlN薄膜的影响 | 第63-65页 |
| 5.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 总结 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第73页 |