| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 静电悬浮转子微陀螺 | 第10-14页 |
| 1.1.1 美国 | 第10-11页 |
| 1.1.2 日本 | 第11-14页 |
| 1.2 微电子机械器件中的检测及控制技术 | 第14-23页 |
| 1.2.1 电容检测方法 | 第15-18页 |
| 1.2.2 集成电容检测芯片 | 第18-20页 |
| 1.2.3 幅值解调技术 | 第20-21页 |
| 1.2.4 模拟PID 控制及数字控制 | 第21-23页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第23-24页 |
| 1.4 本课题的研究意义 | 第24页 |
| 1.5 论文结构 | 第24-25页 |
| 1.6 小结 | 第25-26页 |
| 第二章 静电悬浮转子微陀螺的结构及工作原理 | 第26-36页 |
| 2.1 静电悬浮转子微陀螺的结构 | 第26-28页 |
| 2.2 静电悬浮转子微陀螺的工作原理 | 第28-35页 |
| 2.2.1 理想转子微陀螺仪 | 第28页 |
| 2.2.2 旋转刚体转子基本理论 | 第28-30页 |
| 2.2.3 微悬浮转子的运动方程 | 第30-33页 |
| 2.2.4 角速度及线加速度检测方程 | 第33-35页 |
| 2.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 基于 DSP 的数字幅值解调系统 | 第36-53页 |
| 3.1 静电悬浮转子微陀螺的电容检测原理及电容结构 | 第36-38页 |
| 3.2 数字解调原理 | 第38-43页 |
| 3.2.1 数字相敏解调的相关性原理 | 第39-41页 |
| 3.2.2 数字相敏解调方案 | 第41-43页 |
| 3.3 基于DSP 实现同步解调的实验系统 | 第43-48页 |
| 3.3.1 数字自相关原理 | 第43页 |
| 3.3.2 DSP 数字解调实验的系统组成 | 第43-44页 |
| 3.3.3 DSP 数字解调试验的系统实现 | 第44-48页 |
| 3.4 数字相敏解调的性能指标与参数 | 第48-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 基于 VC33 DSP 的测控系统 | 第53-83页 |
| 4.1 数字检测控制系统的原理及组成 | 第53-58页 |
| 4.1.1 系统组成 | 第53-54页 |
| 4.1.2 IIR数字低通滤波器原理及Matlab仿真 | 第54-56页 |
| 4.1.3 数字增量式PID控制器 | 第56-58页 |
| 4.2 基于VC33DSP 的测控系统的实现 | 第58-67页 |
| 4.2.1 TM5320VC33PS DSP 开发软件CC（Code Composer） | 第58-61页 |
| 4.2.2 TM5320VC33PS DSP 芯片 | 第61-67页 |
| 4.2.2.1 VC33 的主要功能 | 第62-63页 |
| 4.2.2.2 VC33 存储器映射 | 第63-65页 |
| 4.2.2.3 VC33 的中断处理 | 第65-67页 |
| 4.3 系统中的相关硬件外设 | 第67-71页 |
| 4.3.1 MAX125 A/D 芯片 | 第67-68页 |
| 4.3.2 DAC7724 D/A 芯片 | 第68页 |
| 4.3.3 CY7C09449PV PCI 芯片 | 第68-71页 |
| 4.4 系统程序编写 | 第71-77页 |
| 4.4.1 软件流程图 | 第72-74页 |
| 4.4.2 A/D 数据采集 | 第74-75页 |
| 4.4.3 IIR 低通滤波实现 | 第75-76页 |
| 4.4.4 增量式PID控制程序实现 | 第76页 |
| 4.4.5 对CY7C09449 编程 | 第76-77页 |
| 4.4.6 D/A 数据输出 | 第77页 |
| 4.5 实验结果 | 第77-79页 |
| 4.6 实验系统中几个关键性问题 | 第79-82页 |
| 4.7 本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 总结和展望 | 第83-85页 |
| 5.1 全文总结 | 第83页 |
| 5.2 展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及专利 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-93页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第93-94页 |
