终端光学组件内颗粒污染物运动仿真与洁净实验
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题来源和研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外相关研究现状及分析 | 第10-14页 |
| 1.2.1 终端光学组件洁净技术的研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 基于气流的洁净技术研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.3 基于静电的洁净技术研究现状 | 第13页 |
| 1.2.4 激光作用下粒子运动规律研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.5 现阶段存在的问题 | 第14页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 组件内激光损伤熔石英微粒的运动规律分析 | 第16-30页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 激光损伤颗粒出射速度的实验探究 | 第16-19页 |
| 2.2.1 出射速度探究的实验方法 | 第16-17页 |
| 2.2.2 实验结果 | 第17-19页 |
| 2.3 空气中的小尺寸微粒的运动分析 | 第19-22页 |
| 2.3.1 微米尺寸微粒的空气阻力系数计算 | 第19-20页 |
| 2.3.2 微粒的动力学行为分析 | 第20-22页 |
| 2.4 基于FLUENT的污染物微粒运动规律仿真 | 第22-29页 |
| 2.4.1 倍频模块结构建模和网格划分 | 第22-24页 |
| 2.4.2 空气中污染物微粒的运动规律仿真 | 第24-26页 |
| 2.4.3 层流风下污染物微粒的运动规律 | 第26-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 组件内激光损伤熔石英微粒运动的实验验证 | 第30-44页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 污染物颗粒运动规律的实验验证 | 第30-37页 |
| 3.2.1 实验装置的设计 | 第30-31页 |
| 3.2.2 阵列式粒子计数器的探究实验 | 第31-35页 |
| 3.2.3 污染物微粒最远位移探究实验 | 第35-37页 |
| 3.3 激光损伤颗粒位置分布的实验探究 | 第37-41页 |
| 3.3.1 实验设计 | 第37-38页 |
| 3.3.2 颗粒污染物的检测与实验结果 | 第38-41页 |
| 3.4 激光杂散光损伤产生颗粒实验研究 | 第41-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 组件内颗粒污染物洁净效果的仿真研究 | 第44-53页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 层流风加风刀的冲扫效果仿真研究 | 第44-47页 |
| 4.3 层流风加电场的冲扫效果仿真研究 | 第47-49页 |
| 4.4 倍频装置内部流场分析 | 第49-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 基于组件内颗粒污染物的洁净实验 | 第53-68页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 对射离的污染物微粒的洁净实验 | 第53-62页 |
| 5.2.1 实验装置的设计 | 第53-55页 |
| 5.2.2 污染物微粒的选择 | 第55-56页 |
| 5.2.3 污染物微粒的检测 | 第56-57页 |
| 5.2.4 基于层流风和风刀的洁净实验研究 | 第57-62页 |
| 5.3 层流风作用下小倍频模块洁净实验 | 第62-67页 |
| 5.3.1 实验的设计 | 第62-63页 |
| 5.3.2 污染物微粒的选择、喷洒与检测 | 第63-64页 |
| 5.3.3 层流风的洁净效果实验 | 第64-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
