| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 论文研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 论文结构安排 | 第11-12页 |
| 本章参考文献 | 第12-14页 |
| 第二章 光通信中的亚波长光栅 | 第14-41页 |
| 2.1 亚波长光栅在光通信中的应用概述 | 第14-18页 |
| 2.2 基于亚波长光栅的分束器件 | 第18-24页 |
| 2.2.1 偏振分束器 | 第18-21页 |
| 2.2.2 功率分束器 | 第21-24页 |
| 2.3 亚波长光栅理论分析方法研究 | 第24-32页 |
| 2.3.1 严格耦合波理论 | 第24-27页 |
| 2.3.2 模式理论 | 第27-30页 |
| 2.3.3 有限元理论 | 第30-32页 |
| 2.4 维周期亚波长光栅基本特性 | 第32-35页 |
| 2.4.1 宽带高反高透特性 | 第32-33页 |
| 2.4.2 偏振相关特性 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 本章参考文献 | 第36-41页 |
| 第三章 基于一维亚波长光栅的汇聚偏振分束器的研究 | 第41-58页 |
| 3.1 一维非周期亚波长光栅的相位调制原理 | 第41-42页 |
| 3.2 一维非周期亚波长光栅实现光束汇聚 | 第42-44页 |
| 3.3 基于一维亚波长光栅的汇聚偏振分束器设计 | 第44-56页 |
| 3.3.1 偏振分束器整体结构设计 | 第44-47页 |
| 3.3.2 具有汇聚功能的一维非周期亚波长光栅设计过程 | 第47-53页 |
| 3.3.3 汇聚偏振分束器的有限元仿真与计算分析 | 第53-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56页 |
| 本章参考文献 | 第56-58页 |
| 第四章 基于二维亚波长光栅的偏振不敏感功分器的研究 | 第58-73页 |
| 4.1 二维亚波长光栅理论背景 | 第58-61页 |
| 4.1.1 二维严格耦合波理论简介 | 第58-60页 |
| 4.1.2 二维非周期亚波长光栅相位调制原理 | 第60-61页 |
| 4.2 基于二维亚波长光栅的偏振无关功分器设计过程 | 第61-67页 |
| 4.3 功分器的有限元仿真与计算分析 | 第67-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 本章参考文献 | 第71-73页 |
| 第五章 基于SOI结构二维亚波长光栅功分器的制备及实验测试 | 第73-82页 |
| 5.1 SOI结构亚波长光栅制备方法概述 | 第73-75页 |
| 5.2 工艺流程 | 第75-78页 |
| 5.2.1 电子束曝光 | 第75-76页 |
| 5.2.2 干法刻蚀 | 第76-78页 |
| 5.3 实验测试系统与数据分析 | 第78-81页 |
| 5.3.1 实验测试系统 | 第78-79页 |
| 5.3.2 实验数据分析 | 第79-81页 |
| 5.4 本章小结 | 第81页 |
| 本章参考文献 | 第81-82页 |
| 第六章 总结与展望 | 第82-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第86页 |
