| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 论文的背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 论文的结构安排 | 第11-12页 |
| 参考文献 | 第12-14页 |
| 第二章 光栅耦合器的研究概述 | 第14-34页 |
| 2.1 光栅耦合器的原理分析 | 第14-16页 |
| 2.1.1 光栅耦合器的基本结构 | 第14-15页 |
| 2.1.2 光栅耦合器的分类 | 第15-16页 |
| 2.2 光栅耦合器的研究现状及其在光通信中的应用 | 第16-20页 |
| 2.3 光栅耦合器的设计理论研究 | 第20-26页 |
| 2.3.1 光栅布拉格条件 | 第21-22页 |
| 2.3.2 严格耦合波理论 | 第22-26页 |
| 2.4 光栅耦合器的模拟仿真理论分析 | 第26-31页 |
| 2.4.1 有限元理论 | 第26-28页 |
| 2.4.2 有限时域差分理论 | 第28-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31页 |
| 参考文献 | 第31-34页 |
| 第三章 垂直耦合的倾斜SOI光栅耦合器件的研究 | 第34-44页 |
| 3.1 倾斜SOI光栅耦合器的理论分析 | 第34-35页 |
| 3.2 倾斜SOI光栅耦合器的设计 | 第35-39页 |
| 3.2.1 光栅周期和占空比 | 第36-37页 |
| 3.2.2 光栅刻蚀深度和SiO_2层厚度 | 第37-38页 |
| 3.2.3 SOI光栅层的倾斜角度 | 第38-39页 |
| 3.2.4 分布式布拉格反射镜 | 第39页 |
| 3.3 模拟仿真和计算分析 | 第39-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41页 |
| 参考文献 | 第41-44页 |
| 第四章 垂直耦合二元闪耀光栅耦合器的研究 | 第44-52页 |
| 4.1 二元闪耀光栅等效介质理论 | 第44-45页 |
| 4.2 垂直耦合的二元闪耀光栅耦合器的设计 | 第45-47页 |
| 4.3 模拟仿真和计算分析 | 第47-50页 |
| 4.3.1 TE入射 | 第48-49页 |
| 4.3.2 TM入射 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-52页 |
| 第五章 基于SOI光栅器件的制备及测试 | 第52-61页 |
| 5.1 基于SOI光栅器件的性能测试与数据分析 | 第52-55页 |
| 5.1.1 SOI光栅器件结构特性 | 第52页 |
| 5.1.2 实验测试系统 | 第52-53页 |
| 5.1.3 实验数据分析 | 第53-55页 |
| 5.2 基于SOI的一维周期性光栅耦合器的制备流程 | 第55-59页 |
| 5.3 本章小结 | 第59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第65页 |