| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第12-14页 |
| 1.2 直线电机XY工作台国内外发展现状 | 第14-16页 |
| 1.2.1 直线电机技术发展现状 | 第14-15页 |
| 1.2.2 直线电机XY工作台伺服控制系统研究现状 | 第15-16页 |
| 1.3 直线电机XY工作台控制方法 | 第16-20页 |
| 1.3.1 经典控制理论 | 第17页 |
| 1.3.2 现代控制理论 | 第17-18页 |
| 1.3.3 智能控制理论 | 第18-20页 |
| 1.4 数控插补算法研究现状 | 第20-21页 |
| 1.5 本文主要研究内容及方法 | 第21-22页 |
| 第二章 直线电机以及轮廓误差数学模型建立 | 第22-36页 |
| 2.1 直线电机工作原理和分类 | 第22-24页 |
| 2.1.1 直线电机的工作原理 | 第22-24页 |
| 2.1.2 直线电机的分类 | 第24页 |
| 2.2 直线电机数学模型 | 第24-30页 |
| 2.2.1 永磁同步直线电机电磁数学建模 | 第24-27页 |
| 2.2.2 永磁同步直线电机动力学数学建模 | 第27-28页 |
| 2.2.3 永磁同步直线电机的主要扰动 | 第28-30页 |
| 2.3 直线电机XY工作台轮廓误差建模 | 第30-35页 |
| 2.3.1 直线轨迹轮廓误差模型 | 第30-31页 |
| 2.3.2 圆弧轨迹轮廓误差模型 | 第31-32页 |
| 2.3.3 任意轨迹轮廓误差模型 | 第32-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 插补算法研究 | 第36-50页 |
| 3.1 直线插补 | 第36-41页 |
| 3.2 圆弧插补 | 第41-47页 |
| 3.3 插补程序设计 | 第47-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 直线电机XY工作台伺服控制系统设计 | 第50-68页 |
| 4.1 直线电机XY工作台单轴伺服控制系统结构设计 | 第50-62页 |
| 4.1.1 单轴伺服控制系统速度环控制器设计 | 第51-53页 |
| 4.1.2 单轴伺服控制系统位置环控制器设计 | 第53-57页 |
| 4.1.3 单轴伺服控制系统仿真分析 | 第57-62页 |
| 4.2 直线电机XY工作台双轴伺服控制器设计 | 第62-67页 |
| 4.2.1 交叉耦合控制理论 | 第62-63页 |
| 4.2.2 变增益交叉耦合控制器设计 | 第63-64页 |
| 4.2.3 直线电机XY工作台双轴伺服控制器系统仿真 | 第64-67页 |
| 4.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 直线电机XY作台伺服控制系统硬件实现 | 第68-78页 |
| 5.1 直线电机控制系统硬件组成 | 第68-72页 |
| 5.1.1 DSP控制器模块 | 第68-70页 |
| 5.1.2 检测反馈模块 | 第70-72页 |
| 5.2 电路设计 | 第72-77页 |
| 5.2.1 电流、电压采样调理电路 | 第72-73页 |
| 5.2.2 IPM驱动电路 | 第73-74页 |
| 5.2.3 过流过压故障检测保护电路 | 第74-75页 |
| 5.2.4 电机动子位置检测电路 | 第75-77页 |
| 5.2.5 上位机通讯 | 第77页 |
| 5.3 本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 6.1 总结 | 第78-79页 |
| 6.2 展望 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 附录A 攻读硕士期间发表学术成果和参与的科研项目 | 第86-88页 |
| A. 发表的学术论文 | 第86页 |
| B. 参与的科研项目 | 第86-88页 |
| 附录B 插补程序 | 第88-97页 |
