| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第12-31页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第12-14页 |
| 1.2 外差激光干涉仪动态位移测量校准研究现状 | 第14-28页 |
| 1.2.1 外差激光干涉仪动态位移测量校准的现有方法 | 第14-17页 |
| 1.2.2 校准中的关键误差项 | 第17-20页 |
| 1.2.3 校准中的阿贝和空气折射率差异误差 | 第20-21页 |
| 1.2.4 校准中测量光轴的平行性调节 | 第21-27页 |
| 1.2.5 干涉仪动态位移测量的数据延迟误差 | 第27-28页 |
| 1.3 外差激光干涉仪动态位移测量校准存在的关键问题 | 第28-29页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 基于共测量轨迹的快速外差激光干涉仪动态位移测量校准方法研究 | 第31-66页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 校准中的阿贝和空气折射率差异误差 | 第31-41页 |
| 2.2.1 干涉仪位移测量原理 | 第31-34页 |
| 2.2.2 阿贝和空气折射率差异误差分析 | 第34-41页 |
| 2.3 共测量轨迹校准方法及其具体实现 | 第41-54页 |
| 2.3.1 共测量轨迹校准方法 | 第41-43页 |
| 2.3.2 共测量轨迹校准方法的标准干涉仪 | 第43-54页 |
| 2.4 共测量轨迹校准方法的校准模型 | 第54-64页 |
| 2.4.1 位移校准模型 | 第54-57页 |
| 2.4.2 空气折射率差异误差模型 | 第57-64页 |
| 2.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第3章 校准中测量光轴的平行性调节技术研究 | 第66-91页 |
| 3.1 引言 | 第66-67页 |
| 3.2 光轴平行性要求达到的调节目标 | 第67-68页 |
| 3.3 光束方向的检测方法 | 第68-80页 |
| 3.3.1 双光斑位置探测的光束方向测量方法 | 第68-74页 |
| 3.3.2 双光斑位置探测单元的参数校准 | 第74-76页 |
| 3.3.3 双光斑位置探测单元在校准中的应用 | 第76-80页 |
| 3.4 光束方向的调节方法 | 第80-89页 |
| 3.4.1 双光楔光束方向的调节模型 | 第80-84页 |
| 3.4.2 光束方向的无耦合调节 | 第84-89页 |
| 3.5 本章小结 | 第89-91页 |
| 第4章 动态位移校准中数据延迟误差校准方法研究 | 第91-102页 |
| 4.1 引言 | 第91页 |
| 4.2 干涉仪位移测量的数据延迟误差 | 第91-92页 |
| 4.3 干涉仪数据延迟误差校准模型 | 第92-99页 |
| 4.4 干涉仪数据延迟误差校准方法 | 第99-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-102页 |
| 第5章 动态位移测量校准实验研究 | 第102-121页 |
| 5.1 引言 | 第102页 |
| 5.2 校准系统的总体结构 | 第102-103页 |
| 5.3 校准系统的实验研究 | 第103-119页 |
| 5.3.1 双光斑位置探测单元的校准实验 | 第103-109页 |
| 5.3.2 测量光束的方向调节实验 | 第109页 |
| 5.3.3 空气折射率差异误差模型测试实验 | 第109-113页 |
| 5.3.4 位移校准模型测试实验 | 第113-119页 |
| 5.4 本章小结 | 第119-121页 |
| 结论 | 第121-124页 |
| 参考文献 | 第124-132页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第132-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 个人简历 | 第136页 |
