摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第1章 绪论 | 第9-27页 |
1.1 引言 | 第9-10页 |
1.2 微细电解加工的研究现状 | 第10-19页 |
1.2.1 掩膜方式的微细电解加工 | 第10-11页 |
1.2.2 基于电射流方式的微细电解加工 | 第11-12页 |
1.2.3 高频脉冲微细电解加工 | 第12-16页 |
1.2.4 超短脉冲微细电解加工 | 第16-17页 |
1.2.5 产物排出与电解液更新方式 | 第17-19页 |
1.3 脉冲电源技术的发展现状 | 第19-21页 |
1.4 电解加工间隙检测技术的研究现状 | 第21-23页 |
1.5 微细电解加工工艺及相关技术的发展现状小结 | 第23-25页 |
1.6 课题来源及研究目的和意义 | 第25页 |
1.7 主要研究内容 | 第25-27页 |
第2章 抑气促溶微细电解加工机理及加工间隙检测方法 | 第27-47页 |
2.1 抑气促溶微细电解加工机理的研究 | 第27-35页 |
2.1.1 电解加工基本原理 | 第27-30页 |
2.1.2 微细电解加工与传统电解加工参数及其极化过程的比较分析 | 第30-32页 |
2.1.3 微细电解加工中钝化膜增厚过程分析 | 第32-34页 |
2.1.4 界面加酸的抑气促溶机理 | 第34-35页 |
2.2 基于界面双电层电容的间隙检测方法 | 第35-45页 |
2.2.1 双电层模型及流动电势对双电层的影响 | 第36-39页 |
2.2.2 基于双电层电容的加工间隙检测方法 | 第39-41页 |
2.2.3 间隙检测方法的数值仿真与测试实验 | 第41-45页 |
2.3 本章小结 | 第45-47页 |
第3章 三电极微细电解加工脉冲电源设计及实验装置改进 | 第47-75页 |
3.1 三电极微细电解加工脉冲电源总体设计 | 第47-50页 |
3.2 三电极高频脉冲电源设计 | 第50-59页 |
3.2.1 具有脉间输出的三电极高频脉冲电源的主拓扑结构 | 第50-52页 |
3.2.2 脉冲信号发生器设计 | 第52-55页 |
3.2.3 信号幅值及时序约束 | 第55-56页 |
3.2.4 高速功率MOS管驱动与放大电路 | 第56-58页 |
3.2.5 加工脉间完全去极化电流 | 第58-59页 |
3.3 三电极超短脉冲电源设计 | 第59-66页 |
3.3.1 三电极超短脉冲电源的电路设计 | 第60-63页 |
3.3.2 三电极超短脉冲电源基础加工实验 | 第63-66页 |
3.4 实验装置组成及其改进 | 第66-74页 |
3.4.1 实验装置组成 | 第66-68页 |
3.4.2 主轴机构改进 | 第68-71页 |
3.4.3 控制软件的功能扩展 | 第71-74页 |
3.5 本章小结 | 第74-75页 |
第4章 嵌套式微细中空电极的制备及其过流特性分析 | 第75-92页 |
4.1 微细中空电极的制备 | 第75-78页 |
4.1.1 制备工艺 | 第75-77页 |
4.1.2 微细中空电极侧壁绝缘 | 第77-78页 |
4.1.3 微细中空电极制备样件 | 第78页 |
4.2 微细中空电极的流场建模 | 第78-83页 |
4.2.1 几何模型建立 | 第78-79页 |
4.2.2 计算模型选择与参数设置 | 第79-83页 |
4.3 微细中空电极的过流特性分析 | 第83-88页 |
4.3.1 微细中空电极的长度优化 | 第83-86页 |
4.3.2 限位中管对流场的影响分析 | 第86-87页 |
4.3.3 流速与压力关系的仿真与测试 | 第87-88页 |
4.4 供液压力的优化 | 第88-89页 |
4.5 本章小结 | 第89-92页 |
第5章 微细电解加工基础工艺实验 | 第92-107页 |
5.1 两电极与三电极高频脉冲电解加工对比实验 | 第93-99页 |
5.1.1 304不锈钢上的加工对比实验 | 第93-96页 |
5.1.2 18CrNi8上的加工对比实验 | 第96-98页 |
5.1.3 两种材料上加工结果的比较分析 | 第98-99页 |
5.2 高深宽比微细阵列孔及微细槽加工 | 第99-106页 |
5.2.1 304不锈钢上的微细孔及微细槽加工 | 第99-104页 |
5.2.2 18CrNi8上的微细孔及微细槽加工 | 第104-106页 |
5.3 本章小结 | 第106-107页 |
第6章 结论 | 第107-111页 |
6.1 本文的主要结论 | 第107-109页 |
6.2 本文的创新点 | 第109页 |
6.3 后续工作展望 | 第109-111页 |
参考文献 | 第111-119页 |
致谢 | 第119-121页 |
个人简历、在校期间发表的学术论文与研究成果 | 第121-122页 |