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微细电解加工三电极脉冲电源及基础工艺研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第1章 绪论第9-27页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 微细电解加工的研究现状第10-19页
        1.2.1 掩膜方式的微细电解加工第10-11页
        1.2.2 基于电射流方式的微细电解加工第11-12页
        1.2.3 高频脉冲微细电解加工第12-16页
        1.2.4 超短脉冲微细电解加工第16-17页
        1.2.5 产物排出与电解液更新方式第17-19页
    1.3 脉冲电源技术的发展现状第19-21页
    1.4 电解加工间隙检测技术的研究现状第21-23页
    1.5 微细电解加工工艺及相关技术的发展现状小结第23-25页
    1.6 课题来源及研究目的和意义第25页
    1.7 主要研究内容第25-27页
第2章 抑气促溶微细电解加工机理及加工间隙检测方法第27-47页
    2.1 抑气促溶微细电解加工机理的研究第27-35页
        2.1.1 电解加工基本原理第27-30页
        2.1.2 微细电解加工与传统电解加工参数及其极化过程的比较分析第30-32页
        2.1.3 微细电解加工中钝化膜增厚过程分析第32-34页
        2.1.4 界面加酸的抑气促溶机理第34-35页
    2.2 基于界面双电层电容的间隙检测方法第35-45页
        2.2.1 双电层模型及流动电势对双电层的影响第36-39页
        2.2.2 基于双电层电容的加工间隙检测方法第39-41页
        2.2.3 间隙检测方法的数值仿真与测试实验第41-45页
    2.3 本章小结第45-47页
第3章 三电极微细电解加工脉冲电源设计及实验装置改进第47-75页
    3.1 三电极微细电解加工脉冲电源总体设计第47-50页
    3.2 三电极高频脉冲电源设计第50-59页
        3.2.1 具有脉间输出的三电极高频脉冲电源的主拓扑结构第50-52页
        3.2.2 脉冲信号发生器设计第52-55页
        3.2.3 信号幅值及时序约束第55-56页
        3.2.4 高速功率MOS管驱动与放大电路第56-58页
        3.2.5 加工脉间完全去极化电流第58-59页
    3.3 三电极超短脉冲电源设计第59-66页
        3.3.1 三电极超短脉冲电源的电路设计第60-63页
        3.3.2 三电极超短脉冲电源基础加工实验第63-66页
    3.4 实验装置组成及其改进第66-74页
        3.4.1 实验装置组成第66-68页
        3.4.2 主轴机构改进第68-71页
        3.4.3 控制软件的功能扩展第71-74页
    3.5 本章小结第74-75页
第4章 嵌套式微细中空电极的制备及其过流特性分析第75-92页
    4.1 微细中空电极的制备第75-78页
        4.1.1 制备工艺第75-77页
        4.1.2 微细中空电极侧壁绝缘第77-78页
        4.1.3 微细中空电极制备样件第78页
    4.2 微细中空电极的流场建模第78-83页
        4.2.1 几何模型建立第78-79页
        4.2.2 计算模型选择与参数设置第79-83页
    4.3 微细中空电极的过流特性分析第83-88页
        4.3.1 微细中空电极的长度优化第83-86页
        4.3.2 限位中管对流场的影响分析第86-87页
        4.3.3 流速与压力关系的仿真与测试第87-88页
    4.4 供液压力的优化第88-89页
    4.5 本章小结第89-92页
第5章 微细电解加工基础工艺实验第92-107页
    5.1 两电极与三电极高频脉冲电解加工对比实验第93-99页
        5.1.1 304不锈钢上的加工对比实验第93-96页
        5.1.2 18CrNi8上的加工对比实验第96-98页
        5.1.3 两种材料上加工结果的比较分析第98-99页
    5.2 高深宽比微细阵列孔及微细槽加工第99-106页
        5.2.1 304不锈钢上的微细孔及微细槽加工第99-104页
        5.2.2 18CrNi8上的微细孔及微细槽加工第104-106页
    5.3 本章小结第106-107页
第6章 结论第107-111页
    6.1 本文的主要结论第107-109页
    6.2 本文的创新点第109页
    6.3 后续工作展望第109-111页
参考文献第111-119页
致谢第119-121页
个人简历、在校期间发表的学术论文与研究成果第121-122页

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