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曲面3D微结构数字掩模光成型关键技术研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
注释表第14-15页
缩略词第15-16页
第一章 绪论第16-28页
    1.1 研究背景第16-17页
    1.2 曲面 3D微结构制作技术进展第17-26页
        1.2.1 曲面直写技术第17-19页
        1.2.2 金刚石车削技术第19-20页
        1.2.3 三维微投影光刻第20-21页
        1.2.4 软光刻技术第21-24页
        1.2.5 热熔技术第24-25页
        1.2.6 曲面 3D微结构制作技术对比第25-26页
    1.3 论文的内容安排第26-28页
第二章 曲面 3D微结构数字掩模光成型理论与实验研究第28-60页
    2.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型理论模型第28-34页
        2.1.1 数字掩模光成型技术第28-30页
        2.1.2 曲面 3D微结构的数字掩模光成型第30-34页
    2.2 曲面 3D微结构数字掩模光成型系统及实验研究第34-58页
        2.2.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型系统第34-37页
        2.2.2 曲面 3D微结构数字掩模设计算法第37-44页
        2.2.3 曲面微透镜阵列数字掩模光成型实验第44-50页
        2.2.4 曲面微透镜阵列制作误差及光学性能测试第50-58页
    2.3 本章小结第58-60页
第三章 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模光成型方法研究第60-87页
    3.1 多灰阶数字掩模曝光原理第60-66页
        3.1.1 单灰阶数字掩模制作曲面 3D微结构受限性分析第60-63页
        3.1.2 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模光成型机理第63-64页
        3.1.3 多灰阶数字掩模光成型曝光原理第64-66页
    3.2 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模设计算法第66-73页
        3.2.1 曲面 3D微结构几何结构拆分方法第66-68页
        3.2.2 曲面 3D微结构多灰阶数字掩模设计算法第68-73页
    3.3 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模光成型实验第73-86页
        3.3.1 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模设计第73-78页
        3.3.2 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模光成型实验工艺第78-79页
        3.3.3 曲面微透镜阵列双灰阶数字掩模光成型制作误差及光学性能测试第79-86页
    3.4 本章小结第86-87页
第四章 曲面 3D微结构数字掩模曲面拼接方法研究第87-108页
    4.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型制作面积受限分析第87-88页
    4.2 曲面 3D微结构数字掩模曲面拼接算法第88-93页
        4.2.1 曲面 3D微结构分割方法第88-89页
        4.2.2 曲面 3D微结构分割数字掩模设计第89-91页
        4.2.3 曲面 3D微结构数字掩模曲面拼接曝光原理第91-93页
    4.3 曲面微透镜阵列数字掩模曲面拼接光成型实验第93-107页
        4.3.1 数字掩模曲面拼接曝光系统第93-94页
        4.3.2 曲面微透镜阵列正交四分式曲面拼接数字掩模设计第94-97页
        4.3.3 曲面微透镜阵列数字掩模曲面拼接光成型实验第97-104页
        4.3.4 实验结果分析第104-107页
    4.4 本章小结第107-108页
第五章 曲面 3D微结构数字掩模动态光成型方法研究第108-143页
    5.1 曲面 3D微结构数字掩模动态光成型方法必要性分析第108-111页
        5.1.1 曲面 3D微结构数字掩模光成型空间频率受限性分析第108-109页
        5.1.2 曲面 3D微结构数字掩模光成型面型梯度受限性分析第109-111页
        5.1.3 曲面 3D微结构数字掩模动态光成型方法总述第111页
    5.2 曲面 3D微结构数字掩模曲面移动光成型方法第111-127页
        5.2.1 数字掩模曲面移动光成型掩模生成算法第112-118页
        5.2.2 曲面环形等腰闪耀光栅数字掩模曲面旋转光成型掩模设计第118-121页
        5.2.3 曲面等腰闪耀光栅数字掩模曲面旋转光成型实验第121-126页
        5.2.4 实验结果分析第126-127页
    5.3 曲面 3D微结构数字掩模曲面分形光成型方法第127-142页
        5.3.1 数字掩模曲面分形光成型掩模生成算法第128-134页
        5.3.2 曲面光栅数字掩模曲面分形光成型掩模设计第134-137页
        5.3.3 曲面光栅数字掩模曲面分形光成型实验第137-140页
        5.3.4 实验结果分析第140-142页
    5.4 本章小结第142-143页
第六章 总结与展望第143-146页
    6.1 全文总结第143-145页
    6.2 研究展望第145-146页
参考文献第146-152页
致谢第152-153页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第153-154页

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