| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 引言 | 第8-11页 |
| 1.2 半导体型光学传感器 | 第11-12页 |
| 1.3 微环型光学传感器 | 第12-14页 |
| 1.4 本文的主要内容和创新点 | 第14-15页 |
| 第二章 光波导理论分析 | 第15-33页 |
| 2.1 光波导电磁理论概述 | 第15-18页 |
| 2.1.1 麦克斯韦方程组 | 第15-17页 |
| 2.1.2 亥姆霍兹公式 | 第17-18页 |
| 2.2 平板波导特性分析方法介绍 | 第18-22页 |
| 2.4 光波导的数值计算方法 | 第22-27页 |
| 2.4.1 FD方法 | 第22-23页 |
| 2.4.2 BPM方法 | 第23-24页 |
| 2.4.3 FDTD方法 | 第24-26页 |
| 2.4.4 边界条件 | 第26-27页 |
| 2.5 光波导与光纤之间模式转换 | 第27-33页 |
| 2.5.1 背景介绍 | 第27-28页 |
| 2.5.2 设计原理及仿真 | 第28-33页 |
| 第三章 微环谐振器理论分析 | 第33-46页 |
| 3.1 微环的基本原理 | 第33-34页 |
| 3.2 微环谐振器的基本原理 | 第34-37页 |
| 3.3 微环谐振器的特性研究 | 第37-40页 |
| 3.4 耦合区的设计与性能影响 | 第40-46页 |
| 第四章 制作工艺及性能测试 | 第46-56页 |
| 4.1 薄膜制备 | 第47-49页 |
| 4.2 曝光 | 第49-52页 |
| 4.3 刻蚀 | 第52-54页 |
| 4.4 测试系统 | 第54-56页 |
| 第五章 高集成微环传感器设计制作以及测试 | 第56-81页 |
| 5.1 1xN功率分配器的结构设计和特性分析 | 第56-66页 |
| 5.1.1 1xN功率分配器的原理 | 第57-59页 |
| 5.1.2 直波导与环耦合系数的仿真 | 第59-66页 |
| 5.2 高集成度游标型多环传感器的结构设计和特性分析 | 第66-72页 |
| 5.3 器件的设计与制作 | 第72-75页 |
| 5.4 传输特性的测试 | 第75-81页 |
| 第六章 总结 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 作者简历 | 第87页 |