| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·软X射线平场光栅 | 第13-18页 |
| ·工作原理 | 第14-15页 |
| ·特点 | 第15页 |
| ·制作方法简介 | 第15-16页 |
| ·主要应用 | 第16-18页 |
| ·国内外的研究现状 | 第18-23页 |
| ·国外的研究现状和发展趋势 | 第18-21页 |
| ·国内的研究现状 | 第21-23页 |
| ·软X射线并联平场光栅 | 第23-25页 |
| ·软X射线平场光栅的局限 | 第23-24页 |
| ·软X射线并联平场光栅的概念 | 第24-25页 |
| ·选题意义和内容安排 | 第25-27页 |
| 第二章 并联平场光栅的参数优化 | 第27-45页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·并联平场光栅谱仪结构的确定 | 第27-30页 |
| ·并联平场光栅线密度参数的优化 | 第30-38页 |
| ·平场光栅的成像特性 | 第30-33页 |
| ·平场光栅线密度参数的优化算法——遗传算法 | 第33-35页 |
| ·并联平场光栅线密度参数的优化 | 第35-37页 |
| ·并联平场光栅的线密度 | 第37-38页 |
| ·并联平场光栅槽型参数的优化 | 第38-43页 |
| ·与文献中平场光栅衍射效率计算结果对比 | 第38-39页 |
| ·并联平场光栅槽型参数的优化 | 第39-40页 |
| ·并联平场光栅衍射效率的计算 | 第40-42页 |
| ·并联平场光栅与标准平场光栅衍射效率的对比 | 第42-43页 |
| ·并联平场光栅参数的优化结果 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 并联平场光栅记录光路的优化 | 第45-71页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·并联平场光栅的记录光路理论 | 第45-54页 |
| ·凹面光栅的全息记录光路 | 第45-47页 |
| ·平场光栅的全息记录光路理论 | 第47-54页 |
| ·并联平场光栅的记录光路参数的优化 | 第54-62页 |
| ·需要优化的记录光路参数 | 第54-56页 |
| ·目标函数 | 第56-57页 |
| ·记录光路的优化结果 | 第57-58页 |
| ·记录光路优化结果的评价 | 第58-60页 |
| ·各参数误差对线密度的影响 | 第60-62页 |
| ·并联平场光栅的理论分辨能力 | 第62-69页 |
| ·光线追迹理论 | 第62-66页 |
| ·并联平场光栅的理论分辨能力 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第四章 并联平场光栅的制作 | 第71-99页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·并联平场光栅的制作工艺 | 第71-73页 |
| ·并联平场光栅记录光路的搭建 | 第73-82页 |
| ·等光程补偿 | 第75页 |
| ·记录光路中主要部件介绍 | 第75-80页 |
| ·记录光路搭建过程 | 第80-81页 |
| ·记录光路搭建过程中的误差分析 | 第81-82页 |
| ·并联平场光栅中两组子光栅的对准 | 第82-89页 |
| ·理论对准误差 | 第82-85页 |
| ·两组子光栅的对准方法 | 第85-87页 |
| ·两组子光栅的对准误差的分析 | 第87-89页 |
| ·并联平场光栅制作中遇到的问题及关键工艺参数的确定 | 第89-97页 |
| ·并联平场光栅制作中遇到的问题及解决方法 | 第89-92页 |
| ·并联平场光栅制作中关键工艺参数的确定 | 第92-97页 |
| ·实验结果 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-99页 |
| 第五章 平场光栅的线密度测量 | 第99-123页 |
| ·引言 | 第99页 |
| ·常用的线密度测量方法 | 第99-104页 |
| ·原子力显微镜测量法 | 第99页 |
| ·激光干涉仪测量法 | 第99-100页 |
| ·莫尔条纹测量法 | 第100-101页 |
| ·LTP测量法 | 第101-102页 |
| ·衍射自准直测量法 | 第102-103页 |
| ·双波长衍射测量法 | 第103-104页 |
| ·衍射自准直方法测量系统及测量结果 | 第104-115页 |
| ·主要部件介绍 | 第105-107页 |
| ·实际测量过程 | 第107-108页 |
| ·测量误差分析 | 第108-112页 |
| ·测量结果 | 第112-115页 |
| ·双波长衍射法测量系统及测量结果 | 第115-121页 |
| ·主要部件介绍 | 第115-117页 |
| ·实际测量过程 | 第117-118页 |
| ·测量误差分析 | 第118页 |
| ·测量结果 | 第118-121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 第六章 总结与展望 | 第123-127页 |
| ·论文的工作总结 | 第123-125页 |
| ·论文的主要创新点 | 第125页 |
| ·工作展望 | 第125-127页 |
| 参考文献 | 第127-137页 |
| 作者攻读博士学位期间发表的论文与其他成果 | 第137-139页 |
| 致谢 | 第139-140页 |