| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 图表目录 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| ·引言 | 第16-18页 |
| ·压电致动器及其控制方法研究进展 | 第18-26页 |
| ·前馈控制方法 | 第18-19页 |
| ·反馈控制方法 | 第19-22页 |
| ·电荷控制方法 | 第22-25页 |
| ·压电扫描器扫描方法的研究 | 第25-26页 |
| ·论文研究的目的及创新之处 | 第26-27页 |
| ·论文研究的内容及结构 | 第27-30页 |
| 第二章 开关电容电荷泵驱动方法 | 第30-46页 |
| ·用于原子力显微镜压电扫描器的开关电容电荷泵电路 | 第30-32页 |
| ·充电电容对开关电容电荷泵的影响 | 第32-33页 |
| ·模拟开关对开关电容电荷泵的影响 | 第33-36页 |
| ·模拟开关导通电阻对电荷泵的影响 | 第34页 |
| ·模拟开关泄漏电流对电荷泵的影响 | 第34-36页 |
| ·放大器对开关电容电荷泵的影响 | 第36-39页 |
| ·放大器输入失调电压对电荷泵的影响 | 第36-37页 |
| ·放大器基极漏电流对电荷泵的影响 | 第37-39页 |
| ·放大器输出电流对电荷泵的影响 | 第39页 |
| ·压电致动器阶跃位移的频谱分析 | 第39-41页 |
| ·开关速度的问题及改进方案 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 开关电容电荷泵在原子力显微镜中的应用 | 第46-72页 |
| ·实验平台 | 第46-50页 |
| ·原子力显微镜 | 第46-47页 |
| ·自制三轴扫描器 | 第47-49页 |
| ·z轴堆栈控制电路 | 第49-50页 |
| ·基于开关电容电荷泵的光栅式扫描(Raster Scanning) | 第50-56页 |
| ·典型的光栅式扫描 | 第50页 |
| ·基于开关电容电荷泵的光栅式扫描 | 第50-52页 |
| ·测试装置 | 第52-54页 |
| ·测试结果 | 第54-56页 |
| ·基于开关电容电荷泵的螺旋线扫描(Spiral Scanning) | 第56-70页 |
| ·螺旋线扫描产生的背景 | 第56-57页 |
| ·螺旋线扫描的基本原理 | 第57-59页 |
| ·螺旋线扫描与光栅式扫描速度对比 | 第59-60页 |
| ·基于开关电容电荷泵方法的螺旋线扫描 | 第60-62页 |
| ·测试装置描述与测试结果 | 第62-67页 |
| ·图像显示算法的设计 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第四章 结合应变反馈与电荷放大的混合控制方法 | 第72-96页 |
| ·反馈控制方法与电荷控制方法 | 第72-73页 |
| ·结合应变反馈与电荷放大的混合控制方法 | 第73-77页 |
| ·混合控制电路 | 第73-74页 |
| ·应变反馈回路 | 第74-76页 |
| ·电荷放大回路 | 第76-77页 |
| ·噪声分析与传递函数 | 第77-81页 |
| ·应变反馈回路的噪声分析 | 第77-78页 |
| ·电荷放大回路的噪声分析 | 第78-79页 |
| ·传递函数分析 | 第79-81页 |
| ·混合控制电路性能测试 | 第81-86页 |
| ·试验装置描述 | 第81-82页 |
| ·混合控制电路性能测试 | 第82-86页 |
| ·混合控制方法在原子力显微镜中的应用 | 第86-93页 |
| ·“镜像驱动”的原理 | 第86-87页 |
| ·负载接地的混合驱动方法 | 第87-88页 |
| ·传递函数分析 | 第88-90页 |
| ·测试装置与结果 | 第90-93页 |
| ·本章小结 | 第93-96页 |
| 第五章 总结与展望 | 第96-100页 |
| ·工作总结 | 第96-97页 |
| ·展望 | 第97-100页 |
| 参考文献 | 第100-104页 |
| 附录 | 第104-106页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第106-108页 |
| 致谢 | 第108页 |