氧化镍薄膜基甲醛气敏特性及其改性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景与研究意义 | 第9页 |
| ·气敏传感器概述 | 第9-14页 |
| ·气敏传感器及其分类 | 第9-12页 |
| ·半导体传感器的主要特征参数 | 第12-13页 |
| ·电阻式半导体传感器的气敏机理 | 第13-14页 |
| ·NiO薄膜基甲醛气敏传感器 | 第14-17页 |
| ·NiO的性质及应用 | 第14-15页 |
| ·甲醛气敏传感器 | 第15-17页 |
| ·选题意义与主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 实验设备与表征 | 第19-26页 |
| ·气敏元件制备流程 | 第19-21页 |
| ·衬底的清洗 | 第20页 |
| ·叉指电极的制备 | 第20-21页 |
| ·NiO薄膜的制备 | 第21页 |
| ·薄膜的表征与测试 | 第21-26页 |
| ·薄膜厚度测试 | 第22页 |
| ·表面形貌测试 | 第22-23页 |
| ·晶格结构测试 | 第23-24页 |
| ·气敏性能测试 | 第24-26页 |
| 第三章 NiO薄膜的制备以及薄膜特性的研究 | 第26-42页 |
| ·Si衬底制备NiO及其特性研究 | 第26-34页 |
| ·氧氩比对NiO薄膜特性的影响 | 第26-30页 |
| ·外加偏压对NiO薄膜特性的影响 | 第30-33页 |
| ·薄膜厚度对NiO薄膜特性的影响 | 第33-34页 |
| ·玻璃衬底制备甲醛传感器及其特性研究 | 第34-41页 |
| ·不同氧分压对薄膜气敏特性的影响 | 第34-37页 |
| ·不同偏压对薄膜气敏特性的影响 | 第37-39页 |
| ·薄膜厚度对薄膜气敏特性的影响 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 掺杂NiO薄膜基甲醛气敏特性的研究 | 第42-48页 |
| ·掺杂NiO薄膜的制备以及性能研究 | 第42-47页 |
| ·掺杂对NiO薄膜结构以及表面形貌的影响 | 第42-44页 |
| ·掺杂对NiO薄膜气敏性能的影响 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 ZnO表面修饰对NiO气敏特性的影响 | 第48-57页 |
| ·ZnO/NiO器件结构的制备 | 第48-49页 |
| ·ZnO/NiO器件的表征 | 第49-50页 |
| ·ZnO/NiO复合结构气敏特性的测试 | 第50-52页 |
| ·气敏机理的分析 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第六章 全文总结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
