面向NPSS的滚对平面纳米压印光刻机的研究与开发
| 摘要 | 第1-11页 |
| Abstract | 第11-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第13-17页 |
| ·蓝宝石衬底图形化的国内外研究现状 | 第17-18页 |
| ·纳米压印光刻技术的国内外研究现状 | 第18-21页 |
| ·滚对平面纳米压印的研究进展 | 第21-24页 |
| ·课题来源 | 第24页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 纳米压印光刻机的总体设计及三维建模 | 第25-45页 |
| ·蓝宝石衬底图形化原理 | 第25-26页 |
| ·滚对平面压印原理 | 第26-27页 |
| ·光刻机总体方案分析 | 第27-33页 |
| ·光刻机需要实现的功能 | 第27-28页 |
| ·光刻机总体布局 | 第28-32页 |
| ·光刻机主要功能模块 | 第32页 |
| ·光刻机主要技术参数的确定 | 第32-33页 |
| ·光刻机主要功能模块的设计及建模 | 第33-40页 |
| ·设备本体 | 第33-34页 |
| ·压印头 | 第34-38页 |
| ·承片装置 | 第38-40页 |
| ·整机的三维数字化模型 | 第40-41页 |
| ·滚对平面纳米压印过程理论分析 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 滚轮型模具的设计与制造 | 第45-56页 |
| ·模具的设计与优化 | 第45-47页 |
| ·模具几何尺寸的确定 | 第45-46页 |
| ·模具图形化结构的设计 | 第46-47页 |
| ·滚轮型模具的制造工艺 | 第47-54页 |
| ·滚轮型模具的工艺流程 | 第47-48页 |
| ·浇注PDMS | 第48-49页 |
| ·片状镍模具的制造方法 | 第49-53页 |
| ·包覆镍壳模具 | 第53-54页 |
| ·其他制造方法 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 模具变形及有限元分析 | 第56-78页 |
| ·ANSYS有限元分析介绍 | 第56-57页 |
| ·有限元分析主要步骤 | 第56页 |
| ·有限元接触分析 | 第56-57页 |
| ·宏观下的有限元分析 | 第57-64页 |
| ·建模及有关参数的确定 | 第57-58页 |
| ·施加边界条件与载荷 | 第58-60页 |
| ·宏观下有限元分析结果 | 第60-64页 |
| ·宏观下有限元结果分析 | 第64页 |
| ·模具微特征下的变形分析 | 第64-77页 |
| ·模具微特征建模分析 | 第65页 |
| ·材料属性及相关设置 | 第65-66页 |
| ·约束及加载 | 第66页 |
| ·微观下的有限元结果及分析 | 第66-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第5章 压印光刻机主结构的有限元分析 | 第78-87页 |
| ·压印光刻机主体结构实体模型的建立 | 第78页 |
| ·有限元分析的主要分析步骤 | 第78-79页 |
| ·单元类型和材料属性的确定 | 第79页 |
| ·网格划分 | 第79-80页 |
| ·施加边界条件与载荷 | 第80页 |
| ·光刻机主机构有限元分析结果 | 第80-85页 |
| ·有限元结果分析 | 第85-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第6章 总结与展望 | 第87-89页 |
| ·总结 | 第87页 |
| ·展望 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-94页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第94-95页 |
| 致谢 | 第95页 |
