| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-27页 |
| ·课题研究背景 | 第12-13页 |
| ·半导体材料的载流子复合和扩散 | 第13-18页 |
| ·载流子体复合 | 第13-15页 |
| ·表面复合 | 第15-16页 |
| ·载流子扩散 | 第16-17页 |
| ·载流子有效寿命 | 第17-18页 |
| ·半导体材料特性的检测技术 | 第18-25页 |
| ·传统的光电检测技术 | 第19-20页 |
| ·基于光声光热效应的检测技术 | 第20-22页 |
| ·光载流子辐射检测技术发展现状 | 第22-24页 |
| ·自由载流子吸收检测技术发展现状 | 第24-25页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 准时域光生载流子辐射和自由载流子吸收检测技术 | 第27-36页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·光载流子辐射和调制自由载流子吸收模型 | 第27-30页 |
| ·载流子产生复合的线性机制 | 第28-29页 |
| ·PCR 和 MFCA 信号 | 第29-30页 |
| ·准时域 PCR 和 MFCA 检测技术 | 第30-36页 |
| ·频域到准时域的理论模型 | 第30-32页 |
| ·PCR 和 MFCA 联合实验系统 | 第32-33页 |
| ·准时域 PCR 和 MFCA 信号验证分析 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36页 |
| 第3章 光生载流子辐射技术对离子注入退火样品的研究 | 第36-53页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·不同探测深度的线性准时域光生载流子技术 | 第37-41页 |
| ·准时域 PCR 的测量 | 第37-39页 |
| ·样品设计及不同深度 PCR 测量 | 第39-41页 |
| ·PCR 技术在离子注入退火样品中的应用 | 第41-52页 |
| ·PCR 频率扫描曲线和准时域曲线的对应关系 | 第41-44页 |
| ·830nm 激发下不同剂量 B~+、P~+和 As~+离子注入样品的综合分析 | 第44-45页 |
| ·830nm 激发下 B~+、P~+和 As~+离子不同注入能量样品的综合分析 | 第45-47页 |
| ·830nm 激发下 As~+离子注入不同退火温度样品的综合分析 | 第47-49页 |
| ·405nm 激发下不同剂量 B~+、P~+和 As~+离子注入样品的综合分析 | 第49-51页 |
| ·405nm 激发下 B~+、P~+和 As~+离子不同注入能量样品的综合分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 新型半导体材料特性的光生载流子辐射检测 | 第53-67页 |
| ·引言 | 第53-54页 |
| ·前后表面收集的 PCR 信号成份分析实验系统 | 第54-55页 |
| ·超浅结(USJ)样品的光学检测 | 第55-61页 |
| ·超浅结样品的 PL 测量 | 第56-57页 |
| ·硅材料基底的带边吸收曲线计算 | 第57-59页 |
| ·超浅结样品的 PCR 测量 | 第59-61页 |
| ·绝缘上硅(SOI)样品的光学检测 | 第61-66页 |
| ·绝缘上硅样品的 PL 测量 | 第61-65页 |
| ·绝缘上硅样品的 PCR 测量 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 三维时域自由载流子吸收检测技术 | 第67-82页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·三维时域自由载流子吸收模型 | 第67-74页 |
| ·三维时域光生载流子密度方程推导 | 第68-71页 |
| ·无限方波脉冲调制的初值问题 | 第71-72页 |
| ·三维时域自由载流子吸收模型 | 第72-74页 |
| ·三维时域自由载流子吸收模型仿真 | 第74-77页 |
| ·载流子寿命对-S_（MFCA）信号的影响 | 第74-75页 |
| ·载流子扩散系数对-S_（MFCA）信号的影响 | 第75-76页 |
| ·前表面复合速度对-S_（MFCA）信号的影响 | 第76页 |
| ·激发光和探测光束腰半径对-S_（MFCA）信号的影响 | 第76-77页 |
| ·三维时域自由载流子吸收模型测量不同电阻率样品 | 第77-80页 |
| ·不同电阻率样品测量 | 第77-78页 |
| ·测量结果及分析 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第6章 总结和展望 | 第82-85页 |
| ·论文主要工作 | 第82-83页 |
| ·论文创新点 | 第83页 |
| ·存在问题 | 第83-84页 |
| ·对后续工作的建议 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-93页 |
| 附录 A 三维时域自由载流子吸收模型的系数表达式 | 第93-95页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第95页 |
