| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-22页 |
| ·课题来源及意义 | 第7-10页 |
| ·国内外相关技术现状 | 第10-21页 |
| ·本论文研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 光栅严格耦合波理论分析 | 第22-29页 |
| ·严格耦合波理论 | 第22-25页 |
| ·光栅衍射效率与槽深、占宽比的关系 | 第25-28页 |
| ·BSG 衍射效率不均匀性产生的原因 | 第28-29页 |
| 第三章 微结构光学表面纳米尺度加工方法、加工系统与检测 | 第29-39页 |
| ·微结构光学表面纳米尺度加工方法 | 第29页 |
| ·微结构光学表面纳米尺度加工系统 | 第29-35页 |
| ·光栅衍射效率测量系统及其表面结构参数检测设备 | 第35-39页 |
| 第四章 微结构光学表面纳米尺度加工工艺研究 | 第39-61页 |
| ·光栅样片的制备 | 第39-43页 |
| ·研磨工艺实验 | 第43-56页 |
| ·工艺实验数据分析 | 第56-61页 |
| 第五章 验证及误差分析 | 第61-65页 |
| ·衍射效率均匀性指标的定义 | 第61-62页 |
| ·验证实验 | 第62-64页 |
| ·误差分析 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-68页 |
| ·总结 | 第65页 |
| ·展望 | 第65-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录 A | 第71-78页 |
| 附录 B | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |