基于共面波导和缺陷地结构的RF MEMS可调带阻滤波器研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·RF MEMS滤波器国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·RF MEMS滤波器国外研究状况 | 第11-13页 |
| ·RF MEMS滤波器国内研究状况 | 第13-14页 |
| ·论文结构 | 第14-16页 |
| 第二章 RF MEMS滤波器的设计理论基础 | 第16-28页 |
| ·微波传输线基础 | 第16-18页 |
| ·共面波导传输线理论 | 第18-20页 |
| ·散射矩阵 | 第20-23页 |
| ·单端口网络散射参数 | 第21-22页 |
| ·双端口网络散射参数 | 第22-23页 |
| ·微波滤波器设计理论 | 第23-27页 |
| ·带阻滤波器的设计参数 | 第23-24页 |
| ·带阻滤波器周期结构分析 | 第24-25页 |
| ·理查德变换和科洛达恒等关系 | 第25-26页 |
| ·带阻滤波器的设计方法 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 缺陷地结构RF MEMS滤波器设计 | 第28-44页 |
| ·电磁带隙结构简介 | 第28-29页 |
| ·缺陷地结构简介 | 第29-31页 |
| ·几种新型共面波导DGS结构模型分析 | 第31-39页 |
| ·回字型DGS谐振单元 | 第31-33页 |
| ·T型带耳DGS谐振单元 | 第33-36页 |
| ·Ⅱ型带耳DGS谐振单元 | 第36-39页 |
| ·共面波导DGS结构的带阻滤波器设计 | 第39-42页 |
| ·回字型DGS结构带阻滤波器 | 第40-41页 |
| ·T型DGS结构带阻滤波器 | 第41页 |
| ·Ⅱ型DGS结构带阻滤波器 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 基于RF MEMS的可调带阻滤波器设计 | 第44-53页 |
| ·RF MEMS开关设计 | 第44-48页 |
| ·RF MEMS悬臂梁开关结构 | 第45页 |
| ·RF MEMS悬臂梁开关静态特性 | 第45-47页 |
| ·RF MEMS悬臂梁开关电磁特性 | 第47-48页 |
| ·RF MEMS可调滤波器设计 | 第48-51页 |
| ·可调DGS谐振单元设计 | 第48-50页 |
| ·RF MEMS可调带阻滤波器 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 MEMS工艺介绍及滤波器工艺流程 | 第53-61页 |
| ·MEMS加工工艺介绍 | 第53-54页 |
| ·MEMS加工工艺关键技术 | 第54-57页 |
| ·MEMS光刻技术 | 第54页 |
| ·MEMS刻蚀技术 | 第54-56页 |
| ·MEMS键合技术 | 第56-57页 |
| ·RF MEMS可调滤波器工艺流程设计 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结与展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65页 |
