基于图像处理的直拉单晶直径测量系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| ·直拉式单晶炉的发展及研究概况 | 第9-17页 |
| ·硅单晶及其市场需求 | 第9-12页 |
| ·直拉单晶炉概述 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·直拉单晶的直径测量技术 | 第17-20页 |
| ·Ircon直径测量系统 | 第18-19页 |
| ·SIMS直径扫描系统 | 第19页 |
| ·CCD摄像扫描系统 | 第19-20页 |
| ·图像测量技术的研究现状和优势 | 第20-22页 |
| ·论文研究的目的、意义及内容 | 第22-23页 |
| ·研究目标和意义 | 第22页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第二章 直拉单晶直径测量系统的硬件构成 | 第24-41页 |
| ·数字图像测量系统基本组成 | 第24-25页 |
| ·硬件系统结构 | 第25-26页 |
| ·光路转换 | 第26-27页 |
| ·CCD摄像头 | 第27-32页 |
| ·CCD原理 | 第27-30页 |
| ·CCD摄像头的选择 | 第30-32页 |
| ·镜头 | 第32-35页 |
| ·镜头的分类 | 第32-34页 |
| ·镜头的选择 | 第34-35页 |
| ·图像采集卡 | 第35-40页 |
| ·图像采集卡工作原理 | 第35-36页 |
| ·图像采集卡的选择 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 图像的分析与计算 | 第41-54页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·图像数据的读取 | 第41-42页 |
| ·图像预处理 | 第42-43页 |
| ·图像边缘检测 | 第43-47页 |
| ·边缘检测的基本方法 | 第44-45页 |
| ·本论文采用的边缘检测方法 | 第45-47页 |
| ·亚像素边缘检测 | 第47-49页 |
| ·直径测量算法 | 第49-53页 |
| ·等径过程非完整圆直径测量算法 | 第49-52页 |
| ·引晶过程中晶体图像自动跟踪算法 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 系统的软件设计 | 第54-60页 |
| ·软件开发概述 | 第54-55页 |
| ·软件开发平台 | 第55-56页 |
| ·Visual C++6.0的优势 | 第55-56页 |
| ·Matrox图像函数库 | 第56页 |
| ·系统软件的模块 | 第56-57页 |
| ·软件测量流程 | 第57-58页 |
| ·系统软件的界面 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·研究展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |