高g微阵列加速度传感器中的热设计研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景与选题意义 | 第8-9页 |
| ·散热系统的发展现状 | 第9-15页 |
| ·冷却类型 | 第9-10页 |
| ·常用散热器代表 | 第10-12页 |
| ·微管道换热器的发展历史及现状 | 第12-14页 |
| ·新型材料的应用 | 第14-15页 |
| ·课题来源及本文主要工作 | 第15-18页 |
| ·课题来源与研究意义 | 第15-17页 |
| ·本文的主要工作 | 第17-18页 |
| 第二章 散热器的流动与换热研究 | 第18-34页 |
| ·传热理论 | 第18-23页 |
| ·导热 | 第18-19页 |
| ·对流 | 第19-22页 |
| ·辐射 | 第22-23页 |
| ·相关参数的计算 | 第23-29页 |
| ·传热系数的计算 | 第23页 |
| ·流体速度的计算 | 第23-24页 |
| ·流动阻力的计算 | 第24-28页 |
| ·表面张力 | 第28-29页 |
| ·MEMS | 第29-34页 |
| ·MEMS 的形成 | 第29-30页 |
| ·MEMS 的发展 | 第30页 |
| ·MEMS 制造技术 | 第30-34页 |
| 第三章 高g 微阵列加速度传感器的热问题及热设计 | 第34-45页 |
| ·课题要解决的问题 | 第34-36页 |
| ·微槽道的设计 | 第36-37页 |
| ·槽道参数的计算 | 第37-39页 |
| ·f ×Re 的确定 | 第37-38页 |
| ·驱动功率的计算 | 第38-39页 |
| ·仿真 | 第39-45页 |
| ·仿真的意义 | 第39-40页 |
| ·仿真结果 | 第40-45页 |
| 第四章 仿真与实验 | 第45-61页 |
| ·研究背景 | 第45-46页 |
| ·肋片理论分析 | 第46-51页 |
| ·仿真 | 第51-52页 |
| ·流态的确定 | 第51页 |
| ·仿真结果 | 第51-52页 |
| ·实验 | 第52-54页 |
| ·数据处理 | 第54-59页 |
| ·误差分析 | 第59页 |
| ·肋片最佳高度 | 第59-61页 |
| 第五章 结论与展望 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录 | 第67-68页 |
| 在学期间的研究成果 | 第68-69页 |
