ECR离子源主要参数对离子束流影响的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·课题选取的依据和目的 | 第9页 |
| ·国内外研制现状 | 第9-10页 |
| ·论文的章节安排 | 第10-12页 |
| 第二章 ECR离子源 | 第12-18页 |
| ·电子回旋共振(ECR)原理 | 第12-14页 |
| ·ECR离子源工作原理 | 第14-15页 |
| ·低温等离子体的产生 | 第15页 |
| ·ECR离子源实验台结构 | 第15-17页 |
| ·本章总结 | 第17-18页 |
| 第三章 ECR离子源主要参数测量和调试 | 第18-33页 |
| ·微波功率测试方法和调试 | 第18-21页 |
| ·真空系统测试方法和调试 | 第21-22页 |
| ·放电室磁场的测量和分析 | 第22-23页 |
| ·等离子体参数测量 | 第23-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 ECR离子源主要部件结构分析和局部改进 | 第33-54页 |
| ·ECR离子源的微波功率 | 第33-47页 |
| ·ECR离子源中微波功率的作用 | 第33-34页 |
| ·微波传输的主要特性 | 第34-35页 |
| ·矩形过渡波导 | 第35-38页 |
| ·微波输入窗 | 第38-42页 |
| ·微波输入窗的改进 | 第42-47页 |
| ·ECR离子源的磁场 | 第47-51页 |
| ·ECR离子源中磁场的作用 | 第47页 |
| ·约束磁场的结构 | 第47-49页 |
| ·ECR离子源简单磁镜结构的改进 | 第49-51页 |
| ·ECR离子源的真空系统 | 第51页 |
| ·自动控制系统 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 ECR离子源主要参数和离子束流之间关系 | 第54-61页 |
| ·空载时微波入射功率与反射功率的关系 | 第54-55页 |
| ·微波功率与离子束流得关系 | 第55-58页 |
| ·气体压强与离子束流的关系 | 第58-59页 |
| ·ECR离子源调试主要参数优化值 | 第59-60页 |
| ·本章总结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结和展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第66页 |
